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スパッタ電源 パルスジェネレータ ユニポーラパルスジェネレータ SDシリーズ 15kW-35kWカテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | パーツ番号 | パルス出力 (kHz) | パルス出力 (V) | パルス出力 (kW) | |
---|---|---|---|---|---|---|---|
SD151 |
要見積もり |
11Z020 |
20kHz |
800V |
15kW |
||
SD301 |
要見積もり |
11Z040 |
20kHz |
800V |
30kW |
||
SD301/500 |
要見積もり |
11Z047 |
20kHz |
500V |
30kW |
||
SD351 |
要見積もり |
11Z055 |
20kHz |
800V |
30kW |