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スパッタ電源 パルスジェネレータ ユニポーラパルスジェネレータ SDシリーズ 15kW-35kW-SD151
スパッタ電源 パルスジェネレータ ユニポーラパルスジェネレータ SDシリーズ 15kW-35kW-株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

スパッタ電源 パルスジェネレータ ユニポーラパルスジェネレータ SDシリーズ 15kW-35kW
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この製品について

ADL社のDC電源と組み合わせることにより、SD151/SD301及びSD351は、より早い放電の為に、リバースパルスを伴ったユニポーラパルスを生成します。リバースパルスを用いる事により、非常に高速で、完全自動のアークサープレッションが、リバースパルスを用いないSD150/SD300に比べ、約50％アークエネルギーを低下させます。 このジェネレータは、20kHz固定の周波数で動作します。一方で、外部にシグナルジェネレータを接続すれば、1kHzから40kHzまで可変できるようになります。またコントロールケーブルを介して、最大8台までのパルスジェネレータを自動で同期可能です。 SD151、SD301、SD351に搭載している最新の電子機器は、ディレイタイムを最小化させ、その結果として、例え高電圧の出力のパワーサプライが、並列接続で使用されたとしても、マスターオシレーター無しで、正確に同調させます。

■特徴

・リバースパルス ・出力は15kW、30kW、35kW ・280kWまで並列接続可能 ・自動アーク制御 ・空冷 ・コンパクトデザイン、1/2 19インチー3ハーフラック ・フローティング出力

  • シリーズ

    スパッタ電源 パルスジェネレータ ユニポーラパルスジェネレータ SDシリーズ 15kW-35kW

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スパッタ電源 パルスジェネレータ ユニポーラパルスジェネレータ SDシリーズ 15kW-35kW 品番4件

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パルス出力 (kHz)
スパッタ電源 パルスジェネレータ ユニポーラパルスジェネレータ SDシリーズ 15kW-35kW-品番-SD151

SD151

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20kHz

800V

15kW

スパッタ電源 パルスジェネレータ ユニポーラパルスジェネレータ SDシリーズ 15kW-35kW-品番-SD301

SD301

要見積もり

11Z040

20kHz

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電源電圧 V

-10 - 0 0 - 10 10 - 20 20 - 30

出力形式

プルアップ/オープンコレクタ RSS422ラインドライバ オープンコレクタ 可変電圧/セミオープンコレクタ/A/B相 ラインドライバ 独立可変パルス出力 パルス出力 TTL/ECL NIM/VAR

回転トルク mN・m

0 - 20 20 - 40 40 - 80

使用温度範囲 ℃

-10 - 0 0 - 50 50 - 60

パルス幅 μs

0 - 200 200 - 800 800 - 1200 1200 - 2400

製品重量 g

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