スパッタ電源パルスジェネレータユニポーラパルスジェネレータ SDシリーズ 15kW-35kW-SD151

スパッタ電源パルスジェネレータユニポーラパルスジェネレータ SDシリーズ 15kW-35kW
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

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この製品について

ADL社のDC電源と組み合わせることにより、SD151/SD301及びSD351は、より早い放電の為に、リバースパルスを伴ったユニポーラパルスを生成します。リバースパルスを用いる事により、非常に高速で、完全自動のアークサープレッションが、リバースパルスを用いないSD150/SD300に比べ、約50％アークエネルギーを低下させます。

このジェネレータは、20kHz固定の周波数で動作します。一方で、外部にシグナルジェネレータを接続すれば、1kHzから40kHzまで可変できるようになります。またコントロールケーブルを介して、最大8台までのパルスジェネレータを自動で同期可能です。

SD151、SD301、SD351に搭載している最新の電子機器は、ディレイタイムを最小化させ、その結果として、例え高電圧の出力のパワーサプライが、並列接続で使用されたとしても、マスターオシレーター無しで、正確に同調させます。

■特徴・リバースパルス
・出力は15kW、30kW、35kW
・280kWまで並列接続可能
・自動アーク制御
・空冷
・コンパクトデザイン、1/2 19インチー3ハーフラック
・フローティング出力

型番
この商品には4種類の型番があります

シリーズ
スパッタ電源パルスジェネレータユニポーラパルスジェネレータ SDシリーズ 15kW-35kW

取扱企業
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

カテゴリ

ジェネレータ・発生器

パルス発生器

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スパッタ電源パルスジェネレータユニポーラパルスジェネレータ SDシリーズ 15kW-35kW 品番4件

フィルター

品番	価格 (税抜)	パーツ番号 11Z020 11Z040 11Z047 11Z055	パルス出力 (kHz)	パルス出力 (V) 800V 500V	パルス出力 (kW) 15kW 30kW
SD151	要見積もり	11Z020	20kHz	800V	15kW
SD301	要見積もり	11Z040	20kHz	800V	30kW
SD301/500	要見積もり	11Z047	20kHz	500V	30kW
SD351	要見積もり	11Z055	20kHz	800V	30kW