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スパッタ電源 パルスジェネレータ ユニポーラパルスジェネレータ SDシリーズ 15kW-35kWカテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | パーツ番号 | パルス出力 (kHz) | パルス出力 (V) | パルス出力 (kW) | |
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SD151 |
要見積もり | 11Z020 | 20kHz | 800V | 15kW | ||
SD301 |
要見積もり | 11Z040 | 20kHz | 800V | 30kW | ||
SD301/500 |
要見積もり | 11Z047 | 20kHz | 500V | 30kW | ||
SD351 |
要見積もり | 11Z055 | 20kHz | 800V | 30kW |