スパッタ電源 パルスジェネレータ ユニポーラパルスジェネレータ HXDシリーズ 90kW-HXD140kW-HXD901
スパッタ電源 パルスジェネレータ ユニポーラパルスジェネレータ HXDシリーズ 90kW-HXD140kW-株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

スパッタ電源 パルスジェネレータ ユニポーラパルスジェネレータ HXDシリーズ 90kW-HXD140kW
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン



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この製品について

ハイパワーと、容易な操作性、そして安定したプロセスを得ようとした場合、HXD901-HXD1401を利用することが、最も簡単な解決策です。モジュール化されたユニポーラパルスジェネレータは、4mまでの長さのカソードでのリアクティブプロセス成膜を最適化します。 このジェネレータは、完全自動で、すべての関連するプロセスパラメータを認識し、そのアーク検知とアーク除去を独立して制御します。オペレーション再開時や、ターゲット交換時には、一切の手動調整は不要です。また非常に冷却効率が優れるため、仮にエアーコンディショナーが設置されていない環境で使用されても、高い信頼性を保証します。

■特徴

・出力が90kWから140kW ・水冷 ・マグネティックバルブ制御 ・4mまでの長さのカソードのリアクティブプロセスに最適 ・アーク抑制が重要なターゲットに最適 ・完全自動アーク制御 (0.3mJ/kW) ・自動出力制御 ・リバースパルスによる高速放電

  • シリーズ

    スパッタ電源 パルスジェネレータ ユニポーラパルスジェネレータ HXDシリーズ 90kW-HXD140kW

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スパッタ電源 パルスジェネレータ ユニポーラパルスジェネレータ HXDシリーズ 90kW-HXD140kW 品番4件

各品番毎の詳細は品番をクリックしてください

まとめて問合せ・見積 商品画像 品番 価格 (税抜) パルス出力 (kHz) パルス出力 (V) パルス出力 (kW) 品番
スパッタ電源 パルスジェネレータ ユニポーラパルスジェネレータ HXDシリーズ 90kW-HXD140kW-品番-HXD901

HXD901

要見積もり 20kHz 800V 90kW 14Z210
スパッタ電源 パルスジェネレータ ユニポーラパルスジェネレータ HXDシリーズ 90kW-HXD140kW-品番-HXD1051

HXD1051

要見積もり 20kHz 800V 105kW 14Z220
スパッタ電源 パルスジェネレータ ユニポーラパルスジェネレータ HXDシリーズ 90kW-HXD140kW-品番-HXD1201

HXD1201

要見積もり 20kHz 800V 120kW 14Z230
スパッタ電源 パルスジェネレータ ユニポーラパルスジェネレータ HXDシリーズ 90kW-HXD140kW-品番-HXD1401

HXD1401

要見積もり 20kHz 800V 140kW 14Z240

のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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