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スパッタ電源 パルスジェネレータ ユニポーラパルスジェネレータ HXDシリーズ 90kW-HXD140kW-HXD901
スパッタ電源 パルスジェネレータ ユニポーラパルスジェネレータ HXDシリーズ 90kW-HXD140kW-株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

スパッタ電源 パルスジェネレータ ユニポーラパルスジェネレータ HXDシリーズ 90kW-HXD140kW
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

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この製品について

ハイパワーと、容易な操作性、そして安定したプロセスを得ようとした場合、HXD901-HXD1401を利用することが、最も簡単な解決策です。モジュール化されたユニポーラパルスジェネレータは、4mまでの長さのカソードでのリアクティブプロセス成膜を最適化します。 このジェネレータは、完全自動で、すべての関連するプロセスパラメータを認識し、そのアーク検知とアーク除去を独立して制御します。オペレーション再開時や、ターゲット交換時には、一切の手動調整は不要です。また非常に冷却効率が優れるため、仮にエアーコンディショナーが設置されていない環境で使用されても、高い信頼性を保証します。

■特徴

・出力が90kWから140kW ・水冷 ・マグネティックバルブ制御 ・4mまでの長さのカソードのリアクティブプロセスに最適 ・アーク抑制が重要なターゲットに最適 ・完全自動アーク制御 (0.3mJ/kW) ・自動出力制御 ・リバースパルスによる高速放電

  • シリーズ

    スパッタ電源 パルスジェネレータ ユニポーラパルスジェネレータ HXDシリーズ 90kW-HXD140kW

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スパッタ電源 パルスジェネレータ ユニポーラパルスジェネレータ HXDシリーズ 90kW-HXD140kW 品番4件

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