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スパッタ電源 パルスジェネレータ バイポーラパルスジェネレータ SBシリーズ 15kW-35kW-SB150
スパッタ電源 パルスジェネレータ バイポーラパルスジェネレータ SBシリーズ 15kW-35kW-株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

スパッタ電源 パルスジェネレータ バイポーラパルスジェネレータ SBシリーズ 15kW-35kW
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この製品について

このパルスジェネレータは、左右対称なMFACカレントの置き換え、そして、左右非対称な矩形パルスを形成するバイポーラパルス、その両方でご利用いただけます。パワー比コントローラーにより、デュアルターゲットの左右のライフタイムを究極まで近づけることが可能です。 また、仮に左右のターゲットに異なる材料を搭載した場合、パルス出力を意図的に変えることが可能です。パワー比コントローラーは、パルスウィディスモデレーション (PWM) を介して、そのパルス時間を自動的に調整します。このジェネレータは、常に20kHzで動作します。また、完全自動のアーキング抑制機構を有しております。 トリップレベルや、ブレイクタイムのパラメーターは、そのプロセスに応じ自動で調整されます。一切ユーザーにて設定する必要はございません。自動同調に関しては、コントロールケーブルを介して、複数のジェネレータを接続可能です。この際、そのジェネレータは自動で外部受信モードに切り替わり、その他のジェネレータと同調する機能を有しております。

■特徴

・出力は15kW、35kW AC ・並列接続　280kWまで可能 ・左右のパワー比調整可能 ・自動アーキング制御機構 ・自動同調機構 ・水冷 ・コンパクトデザイン

  • シリーズ

    スパッタ電源 パルスジェネレータ バイポーラパルスジェネレータ SBシリーズ 15kW-35kW

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スパッタ電源 パルスジェネレータ バイポーラパルスジェネレータ SBシリーズ 15kW-35kW 品番2件

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商品画像 品番 価格 (税抜) DC-出力 (kHz) DC-出力 (+/–V)
スパッタ電源 パルスジェネレータ バイポーラパルスジェネレータ SBシリーズ 15kW-35kW-品番-SB150

SB150

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15kW

11Z070

スパッタ電源 パルスジェネレータ バイポーラパルスジェネレータ SBシリーズ 15kW-35kW-品番-SB300

SB300

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11Z050

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電源電圧 V

-10 - 0 0 - 10 10 - 20 20 - 30

出力形式

プルアップ/オープンコレクタ RSS422ラインドライバ オープンコレクタ 可変電圧/セミオープンコレクタ/A/B相 ラインドライバ 独立可変パルス出力 パルス出力 TTL/ECL NIM/VAR

回転トルク mN・m

0 - 20 20 - 40 40 - 80

使用温度範囲 ℃

-10 - 0 0 - 50 50 - 60

パルス幅 μs

0 - 200 200 - 800 800 - 1200 1200 - 2400

製品重量 g

0 - 100 100 - 200 200 - 300

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