スパッタ電源パルスジェネレータバイポーラパルスジェネレータ SBシリーズ 15kW-35kW-SB150

スパッタ電源パルスジェネレータバイポーラパルスジェネレータ SBシリーズ 15kW-35kW
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

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この製品について

このパルスジェネレータは、左右対称なMFACカレントの置き換え、そして、左右非対称な矩形パルスを形成するバイポーラパルス、その両方でご利用いただけます。パワー比コントローラーにより、デュアルターゲットの左右のライフタイムを究極まで近づけることが可能です。

また、仮に左右のターゲットに異なる材料を搭載した場合、パルス出力を意図的に変えることが可能です。パワー比コントローラーは、パルスウィディスモデレーション (PWM) を介して、そのパルス時間を自動的に調整します。このジェネレータは、常に20kHzで動作します。また、完全自動のアーキング抑制機構を有しております。

トリップレベルや、ブレイクタイムのパラメーターは、そのプロセスに応じ自動で調整されます。一切ユーザーにて設定する必要はございません。自動同調に関しては、コントロールケーブルを介して、複数のジェネレータを接続可能です。この際、そのジェネレータは自動で外部受信モードに切り替わり、その他のジェネレータと同調する機能を有しております。

■特徴・出力は15kW、35kW AC
・並列接続　280kWまで可能
・左右のパワー比調整可能
・自動アーキング制御機構
・自動同調機構
・水冷
・コンパクトデザイン