スパッタ電源 パルスジェネレータ バイポーラパルスジェネレータ SBシリーズ 15kW-35kW-SB150
スパッタ電源 パルスジェネレータ バイポーラパルスジェネレータ SBシリーズ 15kW-35kW-株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

スパッタ電源 パルスジェネレータ バイポーラパルスジェネレータ SBシリーズ 15kW-35kW
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン



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この製品について

このパルスジェネレータは、左右対称なMFACカレントの置き換え、そして、左右非対称な矩形パルスを形成するバイポーラパルス、その両方でご利用いただけます。パワー比コントローラーにより、デュアルターゲットの左右のライフタイムを究極まで近づけることが可能です。 また、仮に左右のターゲットに異なる材料を搭載した場合、パルス出力を意図的に変えることが可能です。パワー比コントローラーは、パルスウィディスモデレーション (PWM) を介して、そのパルス時間を自動的に調整します。このジェネレータは、常に20kHzで動作します。また、完全自動のアーキング抑制機構を有しております。 トリップレベルや、ブレイクタイムのパラメーターは、そのプロセスに応じ自動で調整されます。一切ユーザーにて設定する必要はございません。自動同調に関しては、コントロールケーブルを介して、複数のジェネレータを接続可能です。この際、そのジェネレータは自動で外部受信モードに切り替わり、その他のジェネレータと同調する機能を有しております。

■特徴

・出力は15kW、35kW AC ・並列接続 280kWまで可能 ・左右のパワー比調整可能 ・自動アーキング制御機構 ・自動同調機構 ・水冷 ・コンパクトデザイン

  • シリーズ

    スパッタ電源 パルスジェネレータ バイポーラパルスジェネレータ SBシリーズ 15kW-35kW

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スパッタ電源 パルスジェネレータ バイポーラパルスジェネレータ SBシリーズ 15kW-35kW 品番2件

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まとめて問合せ・見積 商品画像 品番 価格 (税抜) DC-出力 (kHz) DC-出力 (+/–V) DC-出力 (W) 品番
スパッタ電源 パルスジェネレータ バイポーラパルスジェネレータ SBシリーズ 15kW-35kW-品番-SB150

SB150

要見積もり 20kHz 800V 15kW 11Z070
スパッタ電源 パルスジェネレータ バイポーラパルスジェネレータ SBシリーズ 15kW-35kW-品番-SB300

SB300

要見積もり 20kHz 800V 35kW 11Z050

のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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