スパッタ電源パルスジェネレータバイポーラパルスジェネレータ HXBシリーズ 90kW-140kW-HXB900

スパッタ電源パルスジェネレータバイポーラパルスジェネレータ HXBシリーズ 90kW-140kW
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

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この製品について

MF/バイポーラパルスジェネレータHXB900からHXB1400は、一つのキャビネットで、大きな出力、コンパクトデザイン、及び高速アーク制御を実現します。このバイポーラパルスジェネレータは、特にカソード長さ4mまでの、反応性スパッタプロセスの為に設計されております。

本機は、デュアルカソードにおける左右のカソードへ均等にパワーを配分する自動シンメトリック機能と、意図的に10：90％まで配分パワーを調整するパワー比制御機能を備えます。それにより、成膜品質と、ターゲットのライフを最適化します。このジェネレータは、完全自動ですべての関連プロセスパラメータを認識し、絶えずアーキング検出とアーキング抑制を自動調整致します。生産開始時や、ターゲット交換時においても、一切オペレーターがパラメータ調整をする必要はありません。また、強力な水冷機構は、気温調整されていない環境下においても、高い信頼性を保証します。

■特徴・出力が90kWから140kWまで
・水冷
・反応性スパッタ
・長さ4mまでのカソードに対応
・自動シンメトリック調整システム
・10：90までの左右非対称パワー比コントロール
・完全自動アーク制御 (0.3 mJ / kW) 

型番
この商品には4種類の型番があります

シリーズ
スパッタ電源パルスジェネレータバイポーラパルスジェネレータ HXBシリーズ 90kW-140kW

取扱企業
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

カテゴリ

ジェネレータ・発生器

パルス発生器

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スパッタ電源パルスジェネレータバイポーラパルスジェネレータ HXBシリーズ 90kW-140kW 品番4件

フィルター

品番	価格 (税抜)	DC-出力 (kHz)	DC-出力 (+/–V)	DC-出力 (W) 90 kW 105kW 120kW 140kW	品番 14Z210 14Z020 14Z030 14Z040
HXB900	要見積もり	20kHz	800V	90 kW	14Z210
HXB1050	要見積もり	20kHz	800V	105kW	14Z020
HXB1200	要見積もり	20kHz	800V	120kW	14Z030
HXB1400	要見積もり	20kHz	800V	140kW	14Z040