スパッタ電源パルスジェネレータバイポーラパルスジェネレータ HXBシリーズ 90kW-140kW-HXB900

スパッタ電源パルスジェネレータバイポーラパルスジェネレータ HXBシリーズ 90kW-140kW
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

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この製品について

MF/バイポーラパルスジェネレータHXB900からHXB1400は、一つのキャビネットで、大きな出力、コンパクトデザイン、及び高速アーク制御を実現します。このバイポーラパルスジェネレータは、特にカソード長さ4mまでの、反応性スパッタプロセスの為に設計されております。

本機は、デュアルカソードにおける左右のカソードへ均等にパワーを配分する自動シンメトリック機能と、意図的に10：90％まで配分パワーを調整するパワー比制御機能を備えます。それにより、成膜品質と、ターゲットのライフを最適化します。このジェネレータは、完全自動ですべての関連プロセスパラメータを認識し、絶えずアーキング検出とアーキング抑制を自動調整致します。生産開始時や、ターゲット交換時においても、一切オペレーターがパラメータ調整をする必要はありません。また、強力な水冷機構は、気温調整されていない環境下においても、高い信頼性を保証します。

■特徴・出力が90kWから140kWまで
・水冷
・反応性スパッタ
・長さ4mまでのカソードに対応
・自動シンメトリック調整システム
・10：90までの左右非対称パワー比コントロール
・完全自動アーク制御 (0.3 mJ / kW) 

型番
この商品には4種類の型番があります

シリーズ
スパッタ電源パルスジェネレータバイポーラパルスジェネレータ HXBシリーズ 90kW-140kW

取扱企業
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

カテゴリ

ジェネレータ・発生器

パルス発生器

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スパッタ電源パルスジェネレータバイポーラパルスジェネレータ HXBシリーズ 90kW-140kW 品番4件

各品番毎の詳細は品番をクリックしてください

品番	価格 (税抜)	DC-出力 (kHz)	DC-出力 (+/–V)	DC-出力 (W)	品番
HXB900	要見積もり	20kHz	800V	90 kW	14Z210
HXB1050	要見積もり	20kHz	800V	105kW	14Z020
HXB1200	要見積もり	20kHz	800V	120kW	14Z030
HXB1400	要見積もり	20kHz	800V	140kW	14Z040