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スパッタ電源 パルスジェネレータ バイポーラパルスジェネレータ HXBシリーズ 90kW-140kW-HXB900
スパッタ電源 パルスジェネレータ バイポーラパルスジェネレータ HXBシリーズ 90kW-140kW-株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

スパッタ電源 パルスジェネレータ バイポーラパルスジェネレータ HXBシリーズ 90kW-140kW
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン



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この製品について

MF/バイポーラパルスジェネレータHXB900からHXB1400は、一つのキャビネットで、大きな出力、コンパクトデザイン、及び高速アーク制御を実現します。このバイポーラパルスジェネレータは、特にカソード長さ4mまでの、反応性スパッタプロセスの為に設計されております。 本機は、デュアルカソードにおける左右のカソードへ均等にパワーを配分する自動シンメトリック機能と、意図的に10:90%まで配分パワーを調整するパワー比制御機能を備えます。それにより、成膜品質と、ターゲットのライフを最適化します。このジェネレータは、完全自動ですべての関連プロセスパラメータを認識し、絶えずアーキング検出とアーキング抑制を自動調整致します。生産開始時や、ターゲット交換時においても、一切オペレーターがパラメータ調整をする必要はありません。また、強力な水冷機構は、気温調整されていない環境下においても、高い信頼性を保証します。

■特徴

・出力が90kWから140kWまで ・水冷 ・反応性スパッタ ・長さ4mまでのカソードに対応 ・自動シンメトリック調整システム ・10:90までの左右非対称パワー比コントロール ・完全自動アーク制御 (0.3 mJ / kW)

  • シリーズ

    スパッタ電源 パルスジェネレータ バイポーラパルスジェネレータ HXBシリーズ 90kW-140kW

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スパッタ電源 パルスジェネレータ バイポーラパルスジェネレータ HXBシリーズ 90kW-140kW 品番4件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) DC-出力 (kHz) DC-出力 (+/–V)
スパッタ電源 パルスジェネレータ バイポーラパルスジェネレータ HXBシリーズ 90kW-140kW-品番-HXB900

HXB900

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14Z210

スパッタ電源 パルスジェネレータ バイポーラパルスジェネレータ HXBシリーズ 90kW-140kW-品番-HXB1050

HXB1050

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14Z020

スパッタ電源 パルスジェネレータ バイポーラパルスジェネレータ HXBシリーズ 90kW-140kW-品番-HXB1200

HXB1200

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スパッタ電源 パルスジェネレータ バイポーラパルスジェネレータ HXBシリーズ 90kW-140kW-品番-HXB1400

HXB1400

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