スパッタ電源イオンソース用DC電源-株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

スパッタ電源イオンソース用DC電源
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

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この製品について

イオンソースの為に、特別に設計された電源です。リクエストベースで、仕様以外の電圧出力や、容量をカスタマイズ可能です。すべてのモデルで、AS-4インターフェース、プロフィバス、イーサーキャット、RS232/484インターフェースをご選択いただけます。

■特徴・イオンビームや、プラズマプロセス技術で、幅広く適用可能
・エッチング、スパッタリング、等
・革新的なアプリケーションに適用可例えば、マイクロエレクトロニクス、光学、センサー等

型番
この商品には9種類の型番があります

シリーズ
スパッタ電源イオンソース用DC電源

取扱企業
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

カテゴリ

電源

DC電源

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スパッタ電源イオンソース用DC電源品番9件

フィルター

品番	価格 (税抜)	DC-出力 (W) 300W 30W 800W 1.2kW 200W 990W/25W 990W/2.5W 900W 1kW	DC-出力 (V) 1,000V 2,000V 33V/25V 150V 35V	DC-出力 (A) 300mA 30mA 800mA 1A 100mA 30A/1A 30A/0.1A 6A 30A	品番 09Z001 09Z002 09Z005 09Z011 09Z012 09Z021 09Z022 09Z031 09Z051
GG03Accelerator	要見積もり	300W	1,000V	300mA	09Z001
GG03.1Accelerator	要見積もり	30W	1,000V	30mA	09Z002
GG08Accelerator	要見積もり	800W	1,000V	800mA	09Z005
GG12Beam	要見積もり	1.2kW	2,000V	1A	09Z011
GG12.1Beam	要見積もり	200W	2,000V	100mA	09Z012
GIP10Neutralizer	要見積もり	990W/25W	33V/25V	30A/1A	09Z021
GIP10.1Neutralizer	要見積もり	990W/2.5W	33V/25V	30A/0.1A	09Z022
GDI09Discharge	要見積もり	900W	150V	6A	09Z031
GC10Cathode	要見積もり	1kW	35V	30A	09Z051