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ロータリーカソード RF電源用特殊ロータリーカソード-Rotary RF
ロータリーカソード RF電源用特殊ロータリーカソード-株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

ロータリーカソード RF電源用特殊ロータリーカソード
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

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この製品について

■従来型のプレーナー (平面) カソードから、ロータリーカソードへ切り替える事により、以下の利点を期待できます。

・ターゲット使用効率の向上、最大85％以上 ・スパッタレートの向上、最大3倍 (対プレーナー比) ・ノジュール起因によるパーティクルの最小化 米国・SCI社は、様々なロータリーカソードを用意しておりますので、貴社の装置構成に応じて、最適なモデルをご選択いただけます。

  • シリーズ

    ロータリーカソード RF電源用特殊ロータリーカソード

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ロータリーカソード RF電源用特殊ロータリーカソード 品番1件

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ロータリーカソード RF電源用特殊ロータリーカソード-品番-Rotary RF

Rotary RF

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  • 本社所在地: 千葉県
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