全てのカテゴリ

閲覧履歴

各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン DC PULSE電源 DC-5-P/DC-10-P-DC-5-P
各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン DC PULSE電源 DC-5-P/DC-10-P-アルバック販売株式会社

各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン DC PULSE電源 DC-5-P/DC-10-P
アルバック販売株式会社

アルバック販売株式会社の対応状況

返答率

100.0%

平均返答時間

125.8時間


無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

■概要

DCパルス電源は、反応性プロセスで発生するアークに有効な電源です。この電源は、設定した周期で出力電圧を反転し、ターゲット表面の電荷蓄積を打ち消すことで、歩留り・スループットの向上を実現します。

■用途

・FPD用反応性スパッタリング装置 ・産業コーティング用反応性スパッタリング装置 ・カラーTFT用反応性スパッタリング装置 特長

■高スループット

異常放電を削減することでハイパワーの投入が可能

■基板ダメージの低減

アーク起因の基板ダメージを低減可能

■逆パルス周波数の変更可能

10kHz~250kHzの範囲で可能

■マスター/スレーブ接続により大容量化が可能

最大6台までの並列運転可能 (同一機種において可能)

■DC出力も可能

PULSE機能を停止し、超低アーク性能なDC電源としても使用可能

  • シリーズ

    各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン DC PULSE電源 DC-5-P/DC-10-P

この製品を共有する


40人以上が見ています


返答率: 100.0%


無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン DC PULSE電源 DC-5-P/DC-10-P 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 入力電圧 変動範囲 相数、周波数 入力容量 最大定格電力 定格電流 定格電圧 発振周波数 逆パルス幅 制御方式 制御精度 制御保証範囲 並列運転 外部制御 冷却方式 外形寸法 (W×D×H) 質量 適合規格 動作周囲温度 動作環境
各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン DC PULSE電源 DC-5-P/DC-10-P-品番-DC-5-P

DC-5-P

要見積もり

AC208V

AC187~229V

3相 50/60Hz

8kVA

5kW

12.5A

650V/800V

10kHz~250kHz

0.4μs~5μs 0.1μs刻みで選択可能

定電力制御 (P制御) /定電流制御 (I制御) /定電圧制御 (V制御)

定格出力の±0.5%以下または設定値の±1%のどちらか大きい方

定電力制御 定格電力値の10~100%

マスター/スレーブにより最大6台まで制御可能 (同一機種において可能)

アナログ/デジタル, RS-232C, RS-485

強制空冷

483mm×630mm×133mm (突起物含まず)

29kg

CE/SEMI F47/RoHS指令

5℃~40℃ (結露なき事)

直射日光、熱、ホコリ、振動をさけること、腐食性ガスを含まぬこと

この商品を見た方はこちらもチェックしています

パルス電源をもっと見る

アルバック販売の取り扱い製品

アルバック販売の製品をもっと見る

この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


平均返答時間

125.8時間

会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック(神奈川県)のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

もっと見る

  • 本社所在地: 東京都
Copyright © 2024 Metoree