各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン DC PULSE電源 DC-5-P/DC-10-P
アルバック販売株式会社
この製品について
■概要
DCパルス電源は、反応性プロセスで発生するアークに有効な電源です。この電源は、設定した周期で出力電圧を反転し、ターゲット表面の電荷蓄積を打ち消すことで、歩留り・スループットの向上を実現します。■用途
・FPD用反応性スパッタリング装置 ・産業コーティング用反応性スパッタリング装置 ・カラーTFT用反応性スパッタリング装置 特長■高スループット
異常放電を削減することでハイパワーの投入が可能■基板ダメージの低減
アーク起因の基板ダメージを低減可能■逆パルス周波数の変更可能
10kHz～250kHzの範囲で可能■マスター/スレーブ接続により大容量化が可能
最大6台までの並列運転可能 (同一機種において可能)■DC出力も可能
PULSE機能を停止し、超低アーク性能なDC電源としても使用可能-
シリーズ
各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン DC PULSE電源 DC-5-P/DC-10-P
-
取扱企業
アルバック販売株式会社
-
カテゴリ
パルス電源注目ランキング
もっと見る
パルス電源の製品25点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
まとめて見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%以上
96%以上の方が返答を受け取っています
各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン DC PULSE電源 DC-5-P/DC-10-P 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 入力電圧 | 変動範囲 | 相数、周波数 | 入力容量 | 最大定格電力 | 定格電流 | 定格電圧 | 発振周波数 | 逆パルス幅 | 制御方式 | 制御精度 | 制御保証範囲 | 並列運転 | 外部制御 | 冷却方式 | 外形寸法 (W×D×H) | 質量 | 適合規格 | 動作周囲温度 | 動作環境 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
DC-5-P |
要見積もり | AC208V | AC187~229V | 3相 50/60Hz | 8kVA | 5kW | 12.5A | 650V/800V | 10kHz~250kHz | 0.4μs~5μs 0.1μs刻みで選択可能 | 定電力制御 (P制御) /定電流制御 (I制御) /定電圧制御 (V制御) | 定格出力の±0.5%以下または設定値の±1%のどちらか大きい方 | 定電力制御 定格電力値の10~100% | マスター/スレーブにより最大6台まで制御可能 (同一機種において可能) | アナログ/デジタル, RS-232C, RS-485 | 強制空冷 | 483mm×630mm×133mm (突起物含まず) | 29kg | CE/SEMI F47/RoHS指令 | 5℃~40℃ (結露なき事) | 直射日光、熱、ホコリ、振動をさけること、腐食性ガスを含まぬこと |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
