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熱処理・加熱装置 赤外線イメージ炉 実験用途 赤外線ランプアニール装置 RTAシリーズ-RTA-2000
熱処理・加熱装置 赤外線イメージ炉 実験用途 赤外線ランプアニール装置 RTAシリーズ-アルバック販売株式会社

熱処理・加熱装置 赤外線イメージ炉 実験用途 赤外線ランプアニール装置 RTAシリーズ
アルバック販売株式会社

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この製品について

■概要

2inから300mmまでの高速熱処理。保持まで10秒。高速加熱技術を結集し、研究開発から生産用までお客様のニーズにお応えした装置を製造・販売いたします。最大温度1,450℃の高温雰囲気下での加熱も対応いたします。

■用途

・LED基板アニール ・活性化アニール ・SiCウェハーのアニール ・パワーデバイスのアニール ・シリサイド形成・サリサイド形成 ・酸化雰囲気対応可能

■特長

・高速熱処理が可能 ・コールドウォール構造の為、重金属汚染がありません ・CtoCロボット搬送システム対応可能 ・製造工程装置との組み合わせ・連結が可能

  • シリーズ

    熱処理・加熱装置 赤外線イメージ炉 実験用途 赤外線ランプアニール装置 RTAシリーズ

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熱処理・加熱装置 赤外線イメージ炉 実験用途 赤外線ランプアニール装置 RTAシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 試料寸法 温度範囲 測定雰囲気 アプリケーション
熱処理・加熱装置 赤外線イメージ炉 実験用途 赤外線ランプアニール装置 RTAシリーズ-品番-RTA-2000

RTA-2000

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2in

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各種雰囲気下で対応可能

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最高温度 ℃

100 - 700 700 - 1,100 1,100 - 1,200 1,200 - 1,300 1,300 - 1,400 1,400 - 1,500 1,500 - 1,600 1,600 - 1,700 1,700 - 1,800

炉内容積 L

0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 30 30 - 60

温度分布

0 - 3 3 - 6 6 - 10

昇温時間 分

10 - 20 20 - 30 30 - 40 40 - 50 50 - 70

電源電圧

AC100V AC110V AC200V AC220V AC240V AC380V AC400V

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アルバック販売株式会社

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会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック（神奈川県）のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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