分析・計測機器表面分析装置走査型オージェ電子分光分析装置 (AES/SAM) PHI 710-PHI 710

分析・計測機器表面分析装置走査型オージェ電子分光分析装置 (AES/SAM) PHI 710
アルバック販売株式会社

アルバック販売株式会社の対応状況

返答率

100.0%

平均返答時間

125.8時間

無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

■概要オージェ電子分光法 (AES：Auger Electron Spectroscopy) は、試料に電子線を照射したときに放出されるオージェ電子のエネルギーを測定し、試料表面の元素組成および元素分布を得る分析手法です。

PHI 710走査型オージェ電子分光分析装置は、8nm以下のオージェ電子空間分解能を保証している世界唯一のオージェ分析装置です。アコースティックエンクロージャを標準装備し、従来のオージェ分析では不可能であった50万倍での低ドリフト (測定位置がほとんど動かない測定条件) でのオージェ分析が可能となり、真のナノメートルレベルでの微小部オージェ分析を実現します。

特長
■Feature 1 SEM分解能≦ 3 nm, AES分解能≦ 8 nmオージェ分析では、SEM観察により分析位置を特定した後、スペクトル・デプス・マップ測定等の分析をおこないます。SEM観察のためには細く収束した電子ビームが必要であり、オージェ分析のためにはオージェ分析可能な電流で測定の間、非常に安定している電子ビームが必要です。

PHI 710は電源の低ノイズ化を進めて、SEM分解能3 nm以下を実現しました。また、振動・音響・温度変化の影響を極力小さくするアコースティック・エンクロージャを採用し、分解能8 nm (20 kV 1 nA) 以下でのAES分析が可能です。

■Feature 2 同軸円筒鏡型アナライザー (CMA) による高感度・高スループット分析同軸円筒鏡型アナライザー。同軸CMAは、分光器の中心軸上に電子銃を配置するPHI社独自の電子分光器です。CMAは360度全方位に放出されるオージェ電子を取り込めるので、試料形状や傾斜角の影響を受けにくいという利点を持っています。

■Feature 3 AESによる化学状態マッピングスペクトルマップ。PHI 710のAEマップ測定では、各ピクセル毎にスペクトルを保持するスペクトルマップの取得が可能になり、スペクトル解析に基づいた化学状態マッピングを実現しています。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
分析・計測機器表面分析装置走査型オージェ電子分光分析装置 (AES/SAM) PHI 710

取扱企業
アルバック販売株式会社

カテゴリ

アナライザ

分光分析装置

この商品に関する問題を報告する

50人以上が見ています

返答率: 100.0%

無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

分光分析装置注目ランキング

分光分析装置の製品111点中、注目ランキング上位6点

PIC/S 原料受⼊れ検査、PAT 初期検討 MicroNIR OnSite 携帯型近⾚外分光装置

株式会社クオリティデザイン

300人以上が見ています

金属分析装置 (発光分光分析装置) OSK 75GQ M5000

オガワ精機株式会社

200人以上が見ています

ラマン分光学習キット

株式会社光響

190人以上が見ています

最新の閲覧: 4時間前

高速かつ非破壊・非接触計測リアルタイム近赤外分光ユニット LUMINAR シリーズ

株式会社クオリティデザイン

150人以上が見ています

最新の閲覧: 2時間前

フッ素ガス測定装置 FU-100

株式会社フォトサイエンス

140人以上が見ています

金属分析装置 (発光分光分析装置) OSK 75GQ M4000

オガワ精機株式会社

140人以上が見ています

最新の閲覧: 3時間前

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています

一括見積もりの使い方

分光分析装置注目ランキング (対応の早い企業)

平均返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング

金属分析装置 (発光分光分析装置) OSK 75GQ M5000

オガワ精機株式会社

200人以上が見ています

平均返答時間: 14.45時間

ラマン分光学習キット

株式会社光響

190人以上が見ています

最新の閲覧: 4時間前

平均返答時間: 11.75時間

フッ素ガス測定装置 FU-100

株式会社フォトサイエンス

140人以上が見ています

平均返答時間: 2.18時間

金属分析装置 (発光分光分析装置) OSK 75GQ M4000

オガワ精機株式会社

140人以上が見ています

最新の閲覧: 3時間前

平均返答時間: 14.45時間

多光子光造形装置 MPF-330

株式会社フォトサイエンス

130人以上が見ています

平均返答時間: 2.18時間

分光蛍光光度計 FLUORAT®-02 OSK 18MN200

オガワ精機株式会社

100人以上が見ています

最新の閲覧: 4時間前

平均返答時間: 14.45時間

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています

一括見積もりの使い方

分析・計測機器表面分析装置走査型オージェ電子分光分析装置 (AES/SAM) PHI 710 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	SEM像分解能 (25kV)	AES空間分解能 (20kV, 1nA)	感度	エネルギー分解能	到達圧力	ソフトウェア	オプション
	PHI 710	要見積もり	≤ 3 nm	≤ 8 nm	700 kcps (CuLMM) @10 kV, 10 nA	0.5%以下 (HRモード 0.1~0.5%)	6.7 × 10^-8 Pa以下	SmartSoft™-AES (測定ソフトウェア) PHI MultiPak™ (解析ソフトウェア)	6試料パーキング機構、試料冷却破断機構、EBSD、反射電子検出器、イントロカメラ、イントロコールドカソードゲージ、トランスファーベッセル、サーモバルブ