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分析・計測機器 表面分析装置 走査型オージェ電子分光分析装置 (AES/SAM) PHI 710-PHI 710
分析・計測機器 表面分析装置 走査型オージェ電子分光分析装置 (AES/SAM) PHI 710-アルバック販売株式会社

分析・計測機器 表面分析装置 走査型オージェ電子分光分析装置 (AES/SAM) PHI 710
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■概要

オージェ電子分光法 (AES：Auger Electron Spectroscopy) は、試料に電子線を照射したときに放出されるオージェ電子のエネルギーを測定し、試料表面の元素組成および元素分布を得る分析手法です。 PHI 710走査型オージェ電子分光分析装置は、8nm以下のオージェ電子空間分解能を保証している世界唯一のオージェ分析装置です。アコースティックエンクロージャを標準装備し、従来のオージェ分析では不可能であった50万倍での低ドリフト (測定位置がほとんど動かない測定条件) でのオージェ分析が可能となり、真のナノメートルレベルでの微小部オージェ分析を実現します。 特長

■Feature 1 SEM分解能≦ 3 nm, AES分解能≦ 8 nm

オージェ分析では、SEM観察により分析位置を特定した後、スペクトル・デプス・マップ測定等の分析をおこないます。SEM観察のためには細く収束した電子ビームが必要であり、オージェ分析のためにはオージェ分析可能な電流で測定の間、非常に安定している電子ビームが必要です。 PHI 710は電源の低ノイズ化を進めて、SEM分解能3 nm以下を実現しました。また、振動・音響・温度変化の影響を極力小さくするアコースティック・エンクロージャを採用し、分解能8 nm (20 kV 1 nA) 以下でのAES分析が可能です。

■Feature 2 同軸円筒鏡型アナライザー (CMA) による高感度・高スループット分析

同軸円筒鏡型アナライザー。同軸CMAは、分光器の中心軸上に電子銃を配置するPHI社独自の電子分光器です。CMAは360度全方位に放出されるオージェ電子を取り込めるので、試料形状や傾斜角の影響を受けにくいという利点を持っています。

■Feature 3 AESによる化学状態マッピング

スペクトルマップ。PHI 710のAEマップ測定では、各ピクセル毎にスペクトルを保持するスペクトルマップの取得が可能になり、スペクトル解析に基づいた化学状態マッピングを実現しています。

  • シリーズ

    分析・計測機器 表面分析装置 走査型オージェ電子分光分析装置 (AES/SAM) PHI 710

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分析・計測機器 表面分析装置 走査型オージェ電子分光分析装置 (AES/SAM) PHI 710 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) SEM像分解能 (25kV) AES空間分解能 (20kV, 1nA) 感度 エネルギー分解能 到達圧力 ソフトウェア オプション
分析・計測機器 表面分析装置 走査型オージェ電子分光分析装置 (AES/SAM) PHI 710-品番-PHI 710

PHI 710

要見積もり

≤ 3 nm

≤ 8 nm

700 kcps (CuLMM) @10 kV, 10 nA

0.5%以下 (HRモード 0.1~0.5%)

6.7 × 10^-8 Pa以下

SmartSoft™-AES (測定ソフトウェア)
PHI MultiPak™ (解析ソフトウェア)

6試料パーキング機構、試料冷却破断機構、EBSD、反射電子検出器、イントロカメラ、イントロコールドカソードゲージ、トランスファーベッセル、サーモバルブ

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会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック（神奈川県）のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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