差動排気系キット付き四重極型質量分析計 Qulee with YTP-H
アルバック販売株式会社
この製品について
■概要
差動排気系キット付四重極型質量分析計 (Qulee with YTP-H) は、アルバックのQuleeにおける豊富な実績とお客様のニーズに合わせ、機能の充実と使いやすさを実現しました。各種真空装置のプロセス管理や残留ガス分析からR & Dまで幅広く活用いただけます。■用途
・研究開発用途向け各種ガス分析 ・スパッタリング装置、真空蒸着装置などのプロセス中のガスモ ニタ ・スパッタリング装置、真空蒸着装置などの残留ガス分析 ・高真空排気装置の残留ガス分析 ・真空浸炭炉のエンドポイントおよび酸素濃度の確認 ・凍結乾燥装置の乾燥ポイントおよび不純物の確認■特長
・コストパフォーマンス抜群 差動排気系付のためプロセスモニタリングから残留ガス分析 (RGA) までを1台で対応可能 ・コンパクト設計 標準排気ユニットDesktop YTPを採用したコンパクト設計 ・表示部一体型の設計 PCレスでも測定可能 ・簡単操作 One Click機能 (だれにでも簡単、複雑な操作は不要) ・大気圧分析も可能 大気圧分析も含め、3,000Pa、500Pa、100Pa、10Pa、1Paで のモニタリングが可能な仕様を準備 ・用途に応じた機種選定が可能 質量数1～100 (BGM2-101/102) 、1～200 (BGM2-201/202) 、1～300 (HGM2-302) から選択可能 ・低騒音：運転音が43dB (A) 以下の低音設計 ・真空計の専用表示器が不要：真空計の信号を取り込み操作画面への表示が可能 (真空計はオプション) ・リークテスト機能の充実 ヘリウムリークテスト、エアリークテスト、ビルドアップテストが可能 ・Ethernet対応Qulee QCS (Ver.4) 付属 ソフトウェアが標準搭載 (Windows 7/8/10)-
シリーズ
差動排気系キット付き四重極型質量分析計 Qulee with YTP-H
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取扱企業
アルバック販売株式会社
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カテゴリ
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差動排気系キット付き四重極型質量分析計 Qulee with YTP-H 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) |
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Qulee with YTP-H |
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