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ハイパフォーマンスプロセスガスモニタ Qulee HGMシリーズ-アルバック販売株式会社

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■概要

革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの残留ガス分析計Quleeシリーズのハイエンドモデル機"Qulee HGM"です。2.5×10^-6 A/Pa (ファラデーカップ) という高感度を実現、各種研究開発用途から真空装置のプロセス管理まであらゆるニーズに対応いたします。

■用途

・昇温脱離ガス分析など各種研究開発 ・極高・超高真空排気装置等の残留ガス分析 ・ガス中の微量不純物の測定 ・太陽電池関連の研究開発 ・有機分析 ・環境測定

■特長

・ハイエンド機能としての高感度を実現：2.5x10^-6A/Pa ・表示部一体型の設計：PCレスでも測定可能 ・One Click機能 (だれにでも簡単、複雑な操作は不要) ・センサユニット接続時で最大250℃の高温ベーキングが可能 (センサユニット分離状態：300℃) ・電子衝撃脱離方式の採用 ・フィラメント、イオンソース、二次電子倍増管の交換が簡単 ・イオンソース、二次電子倍増管の予防保全、分析管のトレーサビリティ機能の搭載 (特許出願中) ・ヘリウムリークテスト、エアリークテスト、ビルトアップテストが可能 ・全圧測定が可能 (電離真空計機能) ・ソフトウエアQulee QCSが標準搭載 (Windows XP/7対応) ・CE標準対応

  • シリーズ

    ハイパフォーマンスプロセスガスモニタ Qulee HGMシリーズ

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ハイパフォーマンスプロセスガスモニタ Qulee HGMシリーズ 品番1件

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