ハイパフォーマンスプロセスガスモニタ Qulee HGMシリーズ-ハイパフォーマンスプロセスガスモニタ Qulee HGMシリーズ

ハイパフォーマンスプロセスガスモニタ Qulee HGMシリーズ
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この製品について

■概要革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの残留ガス分析計Quleeシリーズのハイエンドモデル機"Qulee HGM"です。2.5×10^-6 A/Pa (ファラデーカップ) という高感度を実現、各種研究開発用途から真空装置のプロセス管理まであらゆるニーズに対応いたします。

■用途・昇温脱離ガス分析など各種研究開発
・極高・超高真空排気装置等の残留ガス分析
・ガス中の微量不純物の測定
・太陽電池関連の研究開発
・有機分析
・環境測定

■特長・ハイエンド機能としての高感度を実現：2.5x10^-6A/Pa
・表示部一体型の設計：PCレスでも測定可能
・One Click機能 (だれにでも簡単、複雑な操作は不要) 
・センサユニット接続時で最大250℃の高温ベーキングが可能 (センサユニット分離状態：300℃) 
・電子衝撃脱離方式の採用
・フィラメント、イオンソース、二次電子倍増管の交換が簡単
・イオンソース、二次電子倍増管の予防保全、分析管のトレーサビリティ機能の搭載 (特許出願中) 
・ヘリウムリークテスト、エアリークテスト、ビルトアップテストが可能
・全圧測定が可能 (電離真空計機能) 
・ソフトウエアQulee QCSが標準搭載 (Windows XP/7対応) 
・CE標準対応