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ベーシックプロセスガスモニタ Qulee BGMシリーズ-BGM-101
ベーシックプロセスガスモニタ Qulee BGMシリーズ-アルバック販売株式会社

ベーシックプロセスガスモニタ Qulee BGMシリーズ
アルバック販売株式会社

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この製品について

■概要

革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計 (RGA) です。各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモニタの新スタンダードの登場です。真空蒸着装置や各種真空炉の装置管理に最適です。

■用途

・真空蒸着装置やスパッタリング装置などの成膜装置の残留ガス分析 ・高真空排気装置の残留ガス分析 ・凍結乾燥装置の残留ガス分析 ・研究開発向け各種ガス分析

■特長

・表示部一体型の設計・・・パソコンレスでも測定可能 ・簡単操作 −One Click機能・・・だれにでも簡単。複雑な操作は不要 ・リークテスト機能の充実 ・全圧測定が可能 ・Qulee QCSソフトウエアが標準搭載 ・CE標準対応

  • シリーズ

    ベーシックプロセスガスモニタ Qulee BGMシリーズ

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ベーシックプロセスガスモニタ Qulee BGMシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 質量分離方式 質量数範囲 検出器 感度 最小検知分圧 最大使用圧力 全圧測定機能 One Click機能 One Clickリークチェック機能 電源電圧 最大ベーキング可能温度 (センサユニット接続時) 最大ベーキング可能温度 (センサユニット脱着時) 使用温度範囲 ソフトウェア 適合規格 分解能
ベーシックプロセスガスモニタ Qulee BGMシリーズ-品番-BGM-101

BGM-101

要見積もり

四重極型質量分析計

1~100 amu

ファラデーカップ

10^-7A/Pa

10^-8Pa

1x10^-2Pa

あり

あり/He/H2O/N2/O2/Any gas

あり

DC24V±10%、50W

120℃

250℃

10~40℃

Qulee QCS Ver.3.0以降 (Windows XP/7対応)

CE

M/△M=1M (10% P.H.)

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会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック(神奈川県)のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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  • 本社所在地: 東京都
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