ベーシックプロセスガスモニタ Qulee BGMシリーズ
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この製品について

■概要革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計 (RGA) です。各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモニタの新スタンダードの登場です。真空蒸着装置や各種真空炉の装置管理に最適です。

■用途・真空蒸着装置やスパッタリング装置などの成膜装置の残留ガス分析
・高真空排気装置の残留ガス分析
・凍結乾燥装置の残留ガス分析
・研究開発向け各種ガス分析

■特長・表示部一体型の設計・・・パソコンレスでも測定可能
・簡単操作 −One Click機能・・・だれにでも簡単。複雑な操作は不要
・リークテスト機能の充実
・全圧測定が可能
・Qulee QCSソフトウエアが標準搭載
・CE標準対応

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
ベーシックプロセスガスモニタ Qulee BGMシリーズ

取扱企業
アルバック販売株式会社

カテゴリ

メーター・計測機器

ガス分析計

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ベーシックプロセスガスモニタ Qulee BGMシリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	質量分離方式	質量数範囲	検出器	感度	最小検知分圧	最大使用圧力	全圧測定機能	One Click機能	One Clickリークチェック機能	電源電圧	最大ベーキング可能温度 (センサユニット接続時)	最大ベーキング可能温度 (センサユニット脱着時)	使用温度範囲	ソフトウェア	適合規格	分解能
	BGM-101	要見積もり	四重極型質量分析計	1~100 amu	ファラデーカップ	10^-7A/Pa	10^-8Pa	1x10^-2Pa	あり	あり/He/H2O/N2/O2/Any gas	あり	DC24V±10%、50W	120℃	250℃	10~40℃	Qulee QCS Ver.3.0以降 (Windows XP/7対応)	CE	M/△M=1M (10% P.H.)