コンパクトプロセスガスモニタ Qulee CGM2シリーズ
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この製品について

■概要高圧下 (1Pa以下) での高精度、高分解能を、革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計/プロセスガスモニタ (RGA) です。各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモニタの新スタンダードの登場です。スパッタリング装置のプロセス管理 (品質向上、歩留まり向上) に最適です。

■用途・スパッタリング装置の残留ガス分析、プロセスモニタ、不純物 (H2O) 管理に
・各種真空装置のリークテストに

■特長・Ethernet通信の対応
・表示部一体型の設計・・・パソコンレスでも測定可能
・簡単操作 - One Click機能・・・だれにでも簡単、複雑な操作は不要
・プロセスモニタリングにおいて差動排気系が不要・・・1Pa以下測定可能、省スペース化可能
・リークテスト機能の充実
・全圧測定が可能
・Qulee QCSソフトウエアが標準搭載
・CE標準対応

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
コンパクトプロセスガスモニタ Qulee CGM2シリーズ

取扱企業
アルバック販売株式会社

カテゴリ

メーター・計測機器

ガス分析計

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コンパクトプロセスガスモニタ Qulee CGM2シリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	質量分離方式	質量数範囲	検出器	感度	最小検知分圧	最大使用圧力	リニアリティ	全圧測定機能	One Clickリークチェック機能	電源電圧	最大ベーキング可能温度 (センサユニット接続時)	最大ベーキング可能温度 (センサユニット脱着時)	使用温度範囲	ソフトウェア	通信インターフェース	適合規格	分解能
	CGM2-051	要見積もり	四重極型質量分析計	1~50 amu	ファラデーカップ	0.1uA/Pa	1x10^-7Pa	2Pa	1Pa	あり	あり/He/H2O/N2/O2/Any gas	DC24V±10%、50W	120℃	250℃	10~40℃	Qulee QCS Ver.4.0以降 (Windows 7, 8, 10対応)	Ethernet通信対応	CE	M/△M=1M (10% P.H.)