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コンパクトプロセスガスモニタ Qulee CGM2シリーズ-CGM2-051
コンパクトプロセスガスモニタ Qulee CGM2シリーズ-アルバック販売株式会社

コンパクトプロセスガスモニタ Qulee CGM2シリーズ
アルバック販売株式会社

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この製品について

■概要

高圧下 (1Pa以下) での高精度、高分解能を、革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計/プロセスガスモニタ (RGA) です。各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモニタの新スタンダードの登場です。スパッタリング装置のプロセス管理 (品質向上、歩留まり向上) に最適です。

■用途

・スパッタリング装置の残留ガス分析、プロセスモニタ、不純物 (H2O) 管理に ・各種真空装置のリークテストに

■特長

・Ethernet通信の対応 ・表示部一体型の設計・・・パソコンレスでも測定可能 ・簡単操作 - One Click機能・・・だれにでも簡単、複雑な操作は不要 ・プロセスモニタリングにおいて差動排気系が不要・・・1Pa以下測定可能、省スペース化可能 ・リークテスト機能の充実 ・全圧測定が可能 ・Qulee QCSソフトウエアが標準搭載 ・CE標準対応

  • シリーズ

    コンパクトプロセスガスモニタ Qulee CGM2シリーズ

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コンパクトプロセスガスモニタ Qulee CGM2シリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 質量分離方式 質量数範囲 検出器 感度 最小検知分圧 最大使用圧力 リニアリティ 全圧測定機能 One Clickリークチェック機能 電源電圧 最大ベーキング可能温度 (センサユニット接続時) 最大ベーキング可能温度 (センサユニット脱着時) 使用温度範囲 ソフトウェア 通信インターフェース 適合規格 分解能
コンパクトプロセスガスモニタ Qulee CGM2シリーズ-品番-CGM2-051

CGM2-051

要見積もり

四重極型質量分析計

1~50 amu

ファラデーカップ

0.1uA/Pa

1x10^-7Pa

2Pa

1Pa

あり

あり/He/H2O/N2/O2/Any gas

DC24V±10%、50W

120℃

250℃

10~40℃

Qulee QCS Ver.4.0以降 (Windows 7, 8, 10対応)

Ethernet通信対応

CE

M/△M=1M (10% P.H.)

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック(神奈川県)のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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  • 本社所在地: 東京都
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