ターボ分子ポンプ排気装置VPT VPT-060
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この製品について

■概要ターボ分子ポンプ (60L/sec) +ドライ真空ポンプ。到達圧力10^-5Pa台クラス。ベース架台内にターボ分子ポンプ・ドライ真空ポンプ・バルブ配管・電気系等の必要機器をコンパクトに構成した、ドライタイプで小型の高真空排気装置です。半導体・分析・検査・理化学・製薬等の各分野における、クリーンな真空環境に最適です。

■特長・完全ドライの排気ユニットです。
・設置スペースがコンパクトです。
・RoHS対応

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
ターボ分子ポンプ排気装置VPT VPT-060

取扱企業
アルバック販売株式会社

カテゴリ

浄化設備・装置

排気装置

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ターボ分子ポンプ排気装置VPT VPT-060 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	到達圧力	メインポンプ	補助ポンプ	吸気口	質量	最大寸法 (W幅×D奥行き×H高さ)	所要電気量	アース端子	取り合い
	VPT-060	要見積もり	10^-5 Pa台	ターボ分子ポンプ (空冷) 60L/sec	ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 20 L/min	ISO63 (オプション：KF-40)	17kg	340mm (W) ×340mm (D) ×355mm (H)	単相 100V 0.3kVA	D種 (接地抵抗値/100MΩ以下)	ビニルキャプタイヤケーブル (プラグ付) 2m