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シリーズ
ターボ分子ポンプ排気ユニット YTPシリーズ取扱企業
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | TMP吸気口フランジ | TMP到達圧力 *2 *3 | TTMP排気速度 (N2) *3 | TMP軸受方式 | RP到達圧力 | 補助ポンプ排気速度 | TMP背圧・粗引圧モニター | 入力電圧 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
YTP- 50M/SA (-DRY) |
要見積もり |
ICF:114 VG *1:65 *1 TMP単体のベークアウト後の値 |
10^-7 Pa台 *2 JVIS005規格による計測値、またはその計測値にもとづく計算値 *3 排気速度は保護金網を装着していない場合の値 |
50L/s *3 排気速度は保護金網を装着していない場合の値 |
上部:永久磁気軸受/下部:ピボット軸受 | 6.7x10^-1 Pa |
50Hz:50L/min 60Hz:60L/min |
ピラニ真空計 (2.7x10^3~2.7x10^-1 Pa) | 単相AC100V (50/60Hz) |