ターボ分子ポンプ排気ユニット YTPシリーズ Ver.B-YTPシリーズ Ver.B

ターボ分子ポンプ排気ユニット YTPシリーズ Ver.B
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この製品について

■概要YTPシリーズ Ver.Bは、セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプを搭載した高真空排気ユニットです。大気圧から高真空までの排気が可能です。START/STOPスイッチで自動で排気可能なSAタイプと、手動操作のMタイプをラインアップしています。また、補助ポンプは、ロータリーポンプを標準仕様とし、ドライスクロールポンプのドライ仕様も選択可能です。

■用途・大気圧から高真空の排気系
・各種実験・研究用装置の排気系
・高純度ガスの真空置換
・超高真空装置の粗引き排気系
・分析装置の排気系

■用途に合わせて各種シリーズを用意補助ポンプにロータリーポンプを採用した標準仕様と、ドライスクロールポンプを採用したドライ仕様があります。

■優れた停電対策フォアバルブに電磁弁を標準装備し、停電時の逆流・故障を防止します。

■粗引き状況を確認可能ピラニ真空計を標準装備し粗引き排気中の圧力の確認が可能です。

■UHV領域までの排気が可能オプションのベーキングヒータを取り付けて脱ガス処理を行うことにより、UHV領域までの排気が可能です。 (※製品仕様値として) 