走査電子顕微鏡 JSM-IT210
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この製品について

■必要なデータをいつだってシンプルにJSM-IT210は日本電子製の据え置き型としては、最もコンパクトな走査電子顕微鏡です。新開発のステージは、5軸移動がすべてモーター駆動となり、より安心でかつ迅速にご使用いただけます。さらに、新たに搭載した "Simple SEM" は、視野を選択するだけで観察・分析を自動で取得します。JSM-IT210はコンパクトで無人運転が可能な新世代のSEMです。

■試料を入れて、迷わず観察 "試料交換ナビ"1. 試料交換ナビに従って試料を挿入
2. 真空排気時間を利用して観察準備
3. 自動的に観察開始

■光学像を拡大すれば、SEM像 "Zeromag"Zeromagは、ホルダーグラフィックや光学像*とSEM像が連動する機能です。複数の試料をホルダーにセットした場合や特定箇所を観察する場合の視野探しが容易になります。

■観察中も常に元素分析* "Live Analysis"Live Analysisは、常に特性X線スペクトルや元素マップを表示する機能です。観察しながら、目的の元素を探すことができます。

■多彩な自動測定 "Simple SEM"Simple SEMは、観察したい視野を設定するだけで、簡単に自動撮影を行える機能です。

■自動測定を強力に支える機能位置精度の高いステージで、自動測定を実現。ステージ精度の向上したJSM-IT210は、多視野に渡る狙った分析位置での連続測定、自動測定がより実用的になりました。

分析をよりスピーディーに60mm2 大口径EDSを標準搭載
■分析が速い短時間で従来のEDSと同クオリティーのスペクトルが得られます。多点分析も、効率よく分析を行うことが可能です。

■熱に弱い試料も安心従来のEDSでは、分析のために大電流が必要でした。試料によっては熱ダメージによる変形が、元素マップに影響を与えてしまう場合がありました。60mm2 EDSでは、照射電流量を下げて元素マップを取得可能です。それにより、熱ダメージを抑えて分析を行うことができます。

■短時間でも鮮明な元素マップ測定時間1分でも十分に鮮明な元素マップが取得できます。