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FPD各種部材 走査幅全域においてビーム形状が同じで高精度な描画が可能 テレセンfθ レーザ直描装置-LSU-1002
FPD各種部材 走査幅全域においてビーム形状が同じで高精度な描画が可能 テレセンfθ レーザ直描装置-株式会社ワイ・ドライブ

FPD各種部材 走査幅全域においてビーム形状が同じで高精度な描画が可能 テレセンfθ レーザ直描装置
株式会社ワイ・ドライブ

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この製品について

テレセントリックfθ レンズによるレーザ露光のため、走査幅全域においてビーム形状が同じで高精度な描画が可能。直描装置本体部をコンパクトなサイズに納めましたので、省スペースで多品種小ロットの高精細露光に最適です。

  • シリーズ

    FPD各種部材 走査幅全域においてビーム形状が同じで高精度な描画が可能 テレセンfθ レーザ直描装置

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FPD各種部材 走査幅全域においてビーム形状が同じで高精度な描画が可能 テレセンfθ レーザ直描装置 品番4件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) レーザ波長 データフォーマット フォーカスユニット (マニュアル操作) フォーカス確認ユニット 繰り返し露光機能 基準穴位置調整機能 エアーチャックテーブル
FPD各種部材 走査幅全域においてビーム形状が同じで高精度な描画が可能 テレセンfθ レーザ直描装置-品番-LSU-1002

LSU-1002

要見積もり

375,405,650,780,830nm (半導体レーザ)
355,488,532nm (固体レーザ)

2μm

10mm

~25,400dpi

ビットマップ (BMP)

Zステージ

CCDカメラ光学ユニット,モニター:露光面のフォーカス状態を見ながらZステージでピント合わせ

ステージ送り方向にJobを任意回数露光する機能

基準穴確認光学系,モニタ,X軸θ軸ステージ;基準ピンやマークからの露光位置合わせ機構

セラミックステーブル or アルミテーブル

-
FPD各種部材 走査幅全域においてビーム形状が同じで高精度な描画が可能 テレセンfθ レーザ直描装置-品番-LSU-6010

LSU-6010

要見積もり

375,405,650,780,830nm (半導体レーザ)
355,488,532nm (固体レーザ)

10μm

60mm

~5,080dpi

ビットマップ (BMP)

Zステージ

CCDカメラ光学ユニット,モニター:露光面のフォーカス状態を見ながらZステージでピント合わせ

ステージ送り方向にJobを任意回数露光する機能

基準穴確認光学系,モニタ,X軸θ軸ステージ;基準ピンやマークからの露光位置合わせ機構

セラミックステーブル or アルミテーブル

400×500×460mm

FPD各種部材 走査幅全域においてビーム形状が同じで高精度な描画が可能 テレセンfθ レーザ直描装置-品番-LSU-12522

LSU-12522

要見積もり

375,405,650,780,830nm (半導体レーザ)
355,488,532nm (固体レーザ)

22μm

125mm

~3,000dpi

ビットマップ (BMP)

Zステージ

CCDカメラ光学ユニット,モニター:露光面のフォーカス状態を見ながらZステージでピント合わせ

ステージ送り方向にJobを任意回数露光する機能

基準穴確認光学系,モニタ,X軸θ軸ステージ;基準ピンやマークからの露光位置合わせ機構

セラミックステーブル or アルミテーブル

-
FPD各種部材 走査幅全域においてビーム形状が同じで高精度な描画が可能 テレセンfθ レーザ直描装置-品番-LSU-25030

LSU-25030

要見積もり

375,405,650,780,830nm (半導体レーザ)
355,488,532nm (固体レーザ)

30μm

250mm

~1,500dpi

ビットマップ (BMP)

Zステージ

CCDカメラ光学ユニット,モニター:露光面のフォーカス状態を見ながらZステージでピント合わせ

ステージ送り方向にJobを任意回数露光する機能

基準穴確認光学系,モニタ,X軸θ軸ステージ;基準ピンやマークからの露光位置合わせ機構

セラミックステーブル or アルミテーブル

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