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シリーズ
FPD各種部材 走査幅全域においてビーム形状が同じで高精度な描画が可能 テレセンfθ レーザ直描装置取扱企業
株式会社ワイ・ドライブカテゴリ
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電子ビーム描画装置の製品6点中、注目ランキング上位3点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | レーザ波長 | レーザスポット径 (@レーザ波長405nm) | レーザ走査幅 | データ分解能 | データフォーマット | フォーカスユニット (マニュアル操作) | フォーカス確認ユニット | 繰り返し露光機能 | 基準穴位置調整機能 | エアーチャックテーブル | 本体外寸 | |
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LSU-1002 |
要見積もり |
375,405,650,780,830nm (半導体レーザ) |
2μm |
10mm |
~25,400dpi |
ビットマップ (BMP) |
Zステージ |
CCDカメラ光学ユニット,モニター:露光面のフォーカス状態を見ながらZステージでピント合わせ |
ステージ送り方向にJobを任意回数露光する機能 |
基準穴確認光学系,モニタ,X軸θ軸ステージ;基準ピンやマークからの露光位置合わせ機構 |
セラミックステーブル or アルミテーブル |
- | ||
LSU-6010 |
要見積もり |
375,405,650,780,830nm (半導体レーザ) |
10μm |
60mm |
~5,080dpi |
ビットマップ (BMP) |
Zステージ |
CCDカメラ光学ユニット,モニター:露光面のフォーカス状態を見ながらZステージでピント合わせ |
ステージ送り方向にJobを任意回数露光する機能 |
基準穴確認光学系,モニタ,X軸θ軸ステージ;基準ピンやマークからの露光位置合わせ機構 |
セラミックステーブル or アルミテーブル |
400×500×460mm |
||
LSU-12522 |
要見積もり |
375,405,650,780,830nm (半導体レーザ) |
22μm |
125mm |
~3,000dpi |
ビットマップ (BMP) |
Zステージ |
CCDカメラ光学ユニット,モニター:露光面のフォーカス状態を見ながらZステージでピント合わせ |
ステージ送り方向にJobを任意回数露光する機能 |
基準穴確認光学系,モニタ,X軸θ軸ステージ;基準ピンやマークからの露光位置合わせ機構 |
セラミックステーブル or アルミテーブル |
- | ||
LSU-25030 |
要見積もり |
375,405,650,780,830nm (半導体レーザ) |
30μm |
250mm |
~1,500dpi |
ビットマップ (BMP) |
Zステージ |
CCDカメラ光学ユニット,モニター:露光面のフォーカス状態を見ながらZステージでピント合わせ |
ステージ送り方向にJobを任意回数露光する機能 |
基準穴確認光学系,モニタ,X軸θ軸ステージ;基準ピンやマークからの露光位置合わせ機構 |
セラミックステーブル or アルミテーブル |
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