エンジニアリングセラミック窒化アルミ (ALN)
有限会社清水商会

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この製品について

■概要窒化アルミはアルミニウムの窒化物であり、非常に熱伝導率が高い素材です。放熱性、絶縁性、耐熱衝撃性に優れ、基板材料としても注目されています。窒化アルミ基板にはメタライズ加工が可能です。

■特徴・熱伝導率・熱放射率が大きく、均熱性が高い
・熱衝撃に強く、急熱・急冷に耐える
・電気絶縁性に優れている
・Siにマッチした低熱膨張で、温度変化によるウエハの変形を防ぎ、またデポ膜の剥離によるパーティクル発生を低減する
・フッ素系ガスの耐食性が大きい
・耐プラズマ性に優れている

■用途プラズマエッチャー用部品、ウエハーチャック用部品、ステッパー用ウエハー保持冶具、ダミーウエハー、ヒーター均熱板、半導体用基板、薄膜回路基板

型番
この商品には2種類の型番があります

シリーズ
エンジニアリングセラミック窒化アルミ (ALN)

取扱企業
有限会社清水商会

カテゴリ

無機・鉱物素材

ファインセラミックス

化学物質

窒化アルミニウム

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エンジニアリングセラミック窒化アルミ (ALN) 品番2件

フィルター

	商品画像	品番	価格 (税抜)	主成分	色	嵩密度 ( g/cm3) 3 3.2	吸水率 ( %)	硬度 ( HV) ( Gpa)	曲げ強度 20° ( Mpa) 300 350	破壊靭性 ( Mpa･m1/2)	ヤング率 ( Gpa) 320 430	ポアソン比	線膨張係数 RT～200℃ ( ×10^-6/℃)	線膨張係数 RT～400℃	熱放射率 ( 100%) 0.9 0.93	熱伝導率 20℃ ( W/ ( m･K) ) 90 170	耐熱衝撃 ( ℃)	絶縁耐力 ( kV/mm)	体積抵抗率 20℃ ( Ω･cm)	誘電率 1MHz	外形寸法	板厚寸法
		窒化アルミ ( ALN)	要見積もり	ALN	ベージュ	3	0	13	350	3	320	0.29	2.4	4.5	0.9	170	400	15	>10^13	8.8	□200、□300、φ200、φ300など	0.25~30mm
		窒化アルミ ( ALN) ( 助剤レス)	要見積もり	ALN	ベージュ	3.2	0	13	300	3	430	0.29	2.4	4.5	0.93	90	400	15	>10^13	8.8	□200、□300、φ200、φ300など	0.25~30mm