エンジニアリングセラミック 窒化アルミ (ALN)
有限会社清水商会
この製品について
■概要
窒化アルミはアルミニウムの窒化物であり、非常に熱伝導率が高い素材です。放熱性、絶縁性、耐熱衝撃性に優れ、基板材料としても注目されています。窒化アルミ基板にはメタライズ加工が可能です。■特徴
・熱伝導率・熱放射率が大きく、均熱性が高い ・熱衝撃に強く、急熱・急冷に耐える ・電気絶縁性に優れている ・Siにマッチした低熱膨張で、温度変化によるウエハの変形を防ぎ、またデポ膜の剥離によるパーティクル発生を低減する ・フッ素系ガスの耐食性が大きい ・耐プラズマ性に優れている■用途
プラズマエッチャー用部品、ウエハーチャック用部品、ステッパー用ウエハー保持冶具、ダミーウエハー、ヒーター均熱板、半導体用基板、薄膜回路基板-
シリーズ
エンジニアリングセラミック 窒化アルミ (ALN)
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取扱企業
有限会社清水商会
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エンジニアリングセラミック 窒化アルミ (ALN) 品番2件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 主成分 | 色 | 嵩密度 ( g/cm3) | 吸水率 ( %) | 硬度 ( HV) ( Gpa) | 曲げ強度 20° ( Mpa) | 破壊靭性 ( Mpa･m1/2) | ヤング率 ( Gpa) | ポアソン比 | 線膨張係数 RT～200℃ ( ×10^-6/℃) | 線膨張係数 RT～400℃ | 熱放射率 ( 100%) | 熱伝導率 20℃ ( W/ ( m･K) ) | 耐熱衝撃 ( ℃) | 絶縁耐力 ( kV/mm) | 体積抵抗率 20℃ ( Ω･cm) | 誘電率 1MHz | 外形寸法 | 板厚寸法 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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窒化アルミ ( ALN) |
要見積もり | ALN | ベージュ | 3 | 0 | 13 | 350 | 3 | 320 | 0.29 | 2.4 | 4.5 | 0.9 | 170 | 400 | 15 | >10^13 | 8.8 | □200、□300、φ200、φ300など | 0.25~30mm | |
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窒化アルミ ( ALN) ( 助剤レス) |
要見積もり | ALN | ベージュ | 3.2 | 0 | 13 | 300 | 3 | 430 | 0.29 | 2.4 | 4.5 | 0.93 | 90 | 400 | 15 | >10^13 | 8.8 | □200、□300、φ200、φ300など | 0.25~30mm |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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