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薄膜作製装置 ビームフラックスモニター-ビームフラックスモニター
薄膜作製装置 ビームフラックスモニター-北野精機株式会社

薄膜作製装置 ビームフラックスモニター
北野精機株式会社

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■概要

ビームフラックスモニターは小型B・Aゲージをセンサーとして分子線のビーム強度を測定するものです。MBE装置等にて使用されます。回転導入期を使用したコンパクトな設計でICF-70サイズの取付けフランジを実現。

■特徴

・センサーには、多数の真空装置で実績のある、キャノンアネルバ製のミニチュアゲージを採用 ・取付けフランジはICF-70 ・シールドカバーの設置により、センサーへの汚染を最小限に抑制 ・アナログ出力が可能 ・200℃までのベーキングが可能 ・表面処理により、構成部品からのガス放出が微少 ・回転機構による180℃の回転で簡単にフラックス強度を測定可能

  • シリーズ

    薄膜作製装置 ビームフラックスモニター

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薄膜作製装置 ビームフラックスモニター 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) センサー 回転角度 取付けフランジ ベーキング温度 オプション
薄膜作製装置 ビームフラックスモニター-品番-ビームフラックスモニター

ビームフラックスモニター

要見積もり

ミニチュアB-Aゲージ

±180℃

ICF-70 (タップ付)

200℃ (コネクタ部除く)

上下機構

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  • 本社所在地: 東京都
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