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プラズマクリーナー G1000-G1000
プラズマクリーナー G1000-ハイソル株式会社

プラズマクリーナー G1000
ハイソル株式会社

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この製品について

G1000は、ガスプラズマのエッチング効果を利用して低圧環境下で洗浄対象物の表面をクリーニングするシステムです。ご用途に合わせて使用するガスを選択することにより、有機質のみならず無機質汚染も確実に除去します。HIC基板やリードフレームのボンディング面洗浄によるボンディング強度の向上や、表面改質 (親水化) による濡れ性改善に最適なシステムです。

■アプリケーション

・有機物 (レジストなど) のエッチング ・コンタミ、フラックスの除去 ・ワイヤーボンディング面の洗浄-ボンディング強度向上 ・表面の親水性向上-ダイアタッチ・モールド前処理 ・表面張力コントロール etc…

■装置特長

・平行平板方式のチャンバーにより、洗浄対象の表面にムラなくプラズマ照射 ・洗浄対象に応じて、エレクトロンフリープラズマ、アクティブプラズマなど、5種類の強度の異なるプラズマモードから選択 ・12種類のクリーニング条件をメモリー可能、装置前面のタッチパネルにより、容易にレシピ設定および操作を行うことができます ・40kHzのLFプラズマ電源により、高周波 (13.56MHz) と比較して効率よくプラズマ照射 (ワークへのへの熱ストレスが少ない) ・任意のガス3種を選択可能、オプションのマスフローコントローラでCPUによるガス混合、流量コントロールが可能

■チャンバーデザイン

YES社のプラズマクリーナーのチャンバー内にはトレイをセットする為の14個のスリットが設けられています。穴の開いたトレイは計12枚付属しており、電極及びワーク保持台として機能します。 トレイには、アクティブトレイ (+) 、グラウンドトレイ (-) と、チャンバーから絶縁されたフローティングトレイの3種類があり、アクティブトレイとグラウンドトレイの間にプラズマが発生します。

■5種類のプラズマモード

洗浄対象に応じて、以下の5種類のプラズマモードを使い分けることができます。 ・ダウンストリームエレクトロンフリープラズマ (静電破壊などを起こしやすいワークに最適) ・ダウンストリームエレクトロンフリーイオントラップ (静電破壊を起こしやすいワークへ用の強いモード) ・アクティブプラズマ  (HIC基板、リードフレームなど) ・RIEモードプラズマ  (強力なクリーニング効果) ・アクティブイオントラップ  (もっとも強力なプラズマ効果)

  • シリーズ

    プラズマクリーナー G1000

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プラズマクリーナー G1000 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) クリーン度 動作温度 チャンバーサイズ (約) W×D×H 本体サイズ (約) W×D×H 重量 N2ガス消費量 プロセスガス種類 プロセスガス系統 プロセスガス消費量 マスフローコントローラ レシピ数 プラズマ照射時間 設定分解能 RFプラズマ出力 消費電力 電源
プラズマクリーナー G1000-品番-G1000

G1000

要見積もり

Class 10

20–100 ℃

45×45×30 cm

60×71×113 cm

159 kg

最大 1.7 SCFM

酸素、Ar、N2、水素 (7%の混合ガス) / 要相談:CF4、SF6

3系統 (オプション 1系統増設可)

20 – 50 SCCM

オプション 最大3個

12レシピ

0 – 1,200 秒

1秒

40kHz, 0 – 1,000 W

平均 640W、最大 1,000W

単相 200 – 250V, 20A, 50/60Hz

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この商品の取り扱い会社情報

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51.0時間

会社概要

ハイソル株式会社は、半導体、車載デバイス、センサー、LD・LED分野で、輸入製品の販売、及び、各種製造装置の開発・設計・製作・販売を行っている企業です。所在地は東京都台東区です。 1967年に、ウエスト・ボンド社製ワイヤ...

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  • 本社所在地: 東京都
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