シリーズ
プラズマクリーナー G1000取扱企業
ハイソル株式会社カテゴリ
商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | クリーン度 | 動作温度 | チャンバーサイズ (約) W×D×H | 本体サイズ (約) W×D×H | 重量 | N2ガス消費量 | プロセスガス種類 | プロセスガス系統 | プロセスガス消費量 | マスフローコントローラ | レシピ数 | プラズマ照射時間 | 設定分解能 | RFプラズマ出力 | 消費電力 | 電源 |
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G1000 |
要見積もり | Class 10 | 20–100 ℃ | 45×45×30 cm | 60×71×113 cm | 159 kg | 最大 1.7 SCFM | 酸素、Ar、N2、水素 (7%の混合ガス) / 要相談:CF4、SF6 | 3系統 (オプション 1系統増設可) | 20 – 50 SCCM | オプション 最大3個 | 12レシピ | 0 – 1,200 秒 | 1秒 | 40kHz, 0 – 1,000 W | 平均 640W、最大 1,000W | 単相 200 – 250V, 20A, 50/60Hz |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。