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シリーズ
プラズマクリーナー G1000取扱企業
ハイソル株式会社カテゴリ
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プラズマクリーナの製品3点中、注目ランキング上位3点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | クリーン度 | 動作温度 | チャンバーサイズ (約) W×D×H | 本体サイズ (約) W×D×H | 重量 | N2ガス消費量 | プロセスガス種類 | プロセスガス系統 | プロセスガス消費量 | マスフローコントローラ | レシピ数 | プラズマ照射時間 | 設定分解能 | RFプラズマ出力 | 消費電力 | 電源 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
G1000 |
要見積もり |
Class 10 |
20–100 ℃ |
45×45×30 cm |
60×71×113 cm |
159 kg |
最大 1.7 SCFM |
酸素、Ar、N2、水素 (7%の混合ガス) / 要相談:CF4、SF6 |
3系統 (オプション 1系統増設可) |
20 – 50 SCCM |
オプション 最大3個 |
12レシピ |
0 – 1,200 秒 |
1秒 |
40kHz, 0 – 1,000 W |
平均 640W、最大 1,000W |
単相 200 – 250V, 20A, 50/60Hz |