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ダブルサイド セミオート・プローバー HSP-200DS (8 inch)取扱企業
ハイソル株式会社カテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 対応ウエハサイズ | ステージXY移動範囲 | バックサイドプラテンZ移動範囲 | ステージXY繰り返し精度 | ステージXY位置決め精度 | ステージZ移動範囲 | ステージZ繰り返し精度 | ステージθ移動範囲 | ステージθ位置決め分解能 | システム寸法 (W×D×H) | システム重量 |
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HSP-200DS (8 inch) |
要見積もり | ~φ200mm | X:210mm, Y:300mm | 20mm (手動・自動選択) | <±2um | <±5um | 20mm | <±1um | ±5° | 0.0002° | 1,700×1,200 ×1,700 mm | 約850kg |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。