ダブルサイド セミオート・プローバー HSP-200DS (8 inch)
ハイソル株式会社
この製品について
■アプリケーション
・オプトエレクトロニクス (受発光素子) のオンウェハ評価、ダイシング後チップ評価 ・バックサイド・エミッション観察 (故障解析用途) ・パワーデバイスの低ON抵抗測定 (ダブルサイド・プロービング) ・ダイシングテープ上に整列した素子の自動プロービング ・不良ダイマーキング対応 (インカー、けがき) ・レーザーカッターの搭載 (ポイントマーキング,保護膜剥離,配線カット)-
シリーズ
ダブルサイド セミオート・プローバー HSP-200DS (8 inch)
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取扱企業
ハイソル株式会社
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カテゴリ
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ダブルサイド セミオート・プローバー HSP-200DS (8 inch) 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 対応ウエハサイズ | ステージXY移動範囲 | バックサイドプラテンZ移動範囲 | ステージXY繰り返し精度 | ステージXY位置決め精度 | ステージZ移動範囲 | ステージZ繰り返し精度 | ステージθ移動範囲 | ステージθ位置決め分解能 | システム寸法 (W×D×H) | システム重量 |
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HSP-200DS (8 inch) |
要見積もり | ~φ200mm | X：210mm, Y：300mm | 20mm (手動・自動選択) | ＜±2um | ＜±5um | 20mm | ＜±1um | ±5° | 0.0002° | 1,700×1,200 ×1,700 mm | 約850kg |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
