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返答率
100.0%
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75.6時間
シリーズ
ダブルサイド セミオート・プローバー HSP-150DS (6 inch)取扱企業
ハイソル株式会社カテゴリ
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プローバーの製品45点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 対応ウエハサイズ | ステージXY移動範囲 | バックサイドプラテンZ移動範囲 | ステージXY繰り返し精度 | ステージXY位置決め精度 | ステージZ移動範囲 | ステージZ繰り返し精度 | ステージθ移動範囲 | ステージθ位置決め分解能 | システム寸法 (W×D×H) | システム重量 |
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HSP-150DS (6 inch) |
要見積もり | ~φ150mm | X：160mm,Y：250mm | 20mm (手動・自動選択) | ＜±2um | ＜±5um | 20mm | ＜±1um | ±5° | 0.0002° | 1,600×1100×1,700 mm | 約750kg |
