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小径ウェハ対応セミオート・プローバー HSP-150 (6 inch) -HSP-150 (6 inch)
小径ウェハ対応セミオート・プローバー HSP-150 (6 inch) -ハイソル株式会社

小径ウェハ対応セミオート・プローバー HSP-150 (6 inch)
ハイソル株式会社

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この製品について

HSP-100・HSP-150 セミオート・プローバーは最大4インチ (100mm) または最大6インチ (150mm) の小径ウェハの測定に対応するスタンダードタイプのセミオートプローブシステムです。剛性が高く位置決め精度・繰り返し精度に優れたメカ機構、直感的で簡単な操作性、先進の制御ソフトウェア、低ノイズ高精度測定を特徴とし、信頼性の高いセミオート オン・ウェハ測定をサポートします。 自由度の高い柔軟な設計コンセプトおよび、多彩なオプションを取り揃えており、微小信号I-V・C-V測定、インピーダンス特性評価、ハイパワーデバイス測定、sub THz帯域のRF測定、オプトエレクトロニクス測定 等の幅広いアプリケーションに対応可能な拡張性に優れたシステムです。 温度制御範囲 +15℃～+300℃ (特殊オプション+400℃) の高温チャックを搭載することが可能です。

■アプリケーション

・+15℃/+25℃～+200℃/+300℃ の温度特性試験 ・微小信号I-V測定 (fAレベル) ・各種C-V測定 (Quasi-Static C-V, HF-CV, RF-CV) 、インピーダンス特性評価 ・RF測定 (～67GHz) ※オプション：sub THz帯域 RF測定 ・超高速I-V測定

■拡張アプリケーション

・レーザーカッターの搭載 (ポイントマーキング,保護膜剥離,配線カット) ・オプトエレクトロニクス (LED, LD, VCSEL, PDなど) の受発光特性評価アプリケーション ・sub THz帯域 RF測定・ロードプル測定 ・フラットパネルディスプレイデバイスのテスト ・ウエハレベル信頼性試験 (EM, TDDB,HCI, NBTI,BTなど) ・ダイシングテープ上や、チップトレイやゲルパック上に整列した素子の自動プロービング ・不良ダイマーキング (インカー、けがき) ・ハイパワーデバイス測定 (200A Pulse, ±3kV triaxial, ±10kV coaxial) ・プローブカード対応 (マルチサイトWLR対応可)

  • シリーズ

    小径ウェハ対応セミオート・プローバー HSP-150 (6 inch)

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小径ウェハ対応セミオート・プローバー HSP-150 (6 inch) 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 対応ウエハサイズ ステージXY移動範囲 ステージXY繰り返し精度 ステージXY位置決め精度 ステージZ移動範囲 ステージZ繰り返し精度 ステージθ移動範囲 ステージθ位置決め分解能 外形寸法・重量
小径ウェハ対応セミオート・プローバー HSP-150 (6 inch) -品番-HSP-150 (6 inch)

HSP-150 (6 inch)

要見積もり

~φ150mm

X：210mm,Y：300mm

<±1.5um

<±3um

20mm

＜±1um

±7.5°

0.0002°

W1,500×D1,000×H1,690mm
約670kg

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対応ウエハサイズ mm

100 - 150 150 - 200

システム重量 kg

700 - 800 800 - 900 900 - 1100

タイプ

12インチ対応タイプ 標準タイプ SOIウエハ対応タイプ マニュアル測定タイプ

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会社概要

ハイソル株式会社は、半導体、車載デバイス、センサー、LD・LED分野で、輸入製品の販売、及び、各種製造装置の開発・設計・製作・販売を行っている企業です。所在地は東京都台東区です。 1967年に、ウエスト・ボンド社製ワイヤ...

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  • 本社所在地: 東京都

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