小径ウェハ対応セミオート・プローバー HSP-150 (6 inch) -HSP-150 (6 inch)

小径ウェハ対応セミオート・プローバー HSP-150 (6 inch)
ハイソル株式会社

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この製品について

HSP-100・HSP-150 セミオート・プローバーは最大4インチ (100mm) または最大6インチ (150mm) の小径ウェハの測定に対応するスタンダードタイプのセミオートプローブシステムです。剛性が高く位置決め精度・繰り返し精度に優れたメカ機構、直感的で簡単な操作性、先進の制御ソフトウェア、低ノイズ高精度測定を特徴とし、信頼性の高いセミオート オン・ウェハ測定をサポートします。

自由度の高い柔軟な設計コンセプトおよび、多彩なオプションを取り揃えており、微小信号I-V・C-V測定、インピーダンス特性評価、ハイパワーデバイス測定、sub THz帯域のRF測定、オプトエレクトロニクス測定 等の幅広いアプリケーションに対応可能な拡張性に優れたシステムです。

温度制御範囲 +15℃～+300℃ (特殊オプション+400℃) の高温チャックを搭載することが可能です。

■アプリケーション・+15℃/+25℃～+200℃/+300℃ の温度特性試験
・微小信号I-V測定 (fAレベル) 
・各種C-V測定 (Quasi-Static C-V, HF-CV, RF-CV) 、インピーダンス特性評価
・RF測定 (～67GHz) ※オプション：sub THz帯域 RF測定
・超高速I-V測定

■拡張アプリケーション・レーザーカッターの搭載 (ポイントマーキング,保護膜剥離,配線カット) 
・オプトエレクトロニクス (LED, LD, VCSEL, PDなど) の受発光特性評価アプリケーション
・sub THz帯域 RF測定・ロードプル測定
・フラットパネルディスプレイデバイスのテスト
・ウエハレベル信頼性試験 (EM, TDDB,HCI, NBTI,BTなど) 
・ダイシングテープ上や、チップトレイやゲルパック上に整列した素子の自動プロービング
・不良ダイマーキング (インカー、けがき) 
・ハイパワーデバイス測定 (200A Pulse, ±3kV triaxial, ±10kV coaxial) 
・プローブカード対応 (マルチサイトWLR対応可) 