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返答率
100.0%
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75.6時間
シリーズ
小径ウェハ対応セミオート・プローバー HSP-150 (6 inch)取扱企業
ハイソル株式会社カテゴリ
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プローバーの製品52点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 対応ウエハサイズ | ステージXY移動範囲 | ステージXY繰り返し精度 | ステージXY位置決め精度 | ステージZ移動範囲 | ステージZ繰り返し精度 | ステージθ移動範囲 | ステージθ位置決め分解能 | 外形寸法・重量 |
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HSP-150 (6 inch) |
要見積もり | ~φ150mm | X：210mm,Y：300mm | <±1.5um | <±3um | 20mm | ＜±1um | ±7.5° | 0.0002° |
W1,500×D1,000×H1,690mm 約670kg |
