高低温対応セミオート・プローバー HSP-200SC (8 inch) -HSP-200SC (8 inch)
高低温対応セミオート・プローバー HSP-200SC (8 inch) -ハイソル株式会社

高低温対応セミオート・プローバー HSP-200SC (8 inch)
ハイソル株式会社



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この製品について

HSP-200SC・HSP-300SC セミオート・プローバーは最大8インチ (200mm) または最大12インチ (300mm) ウェハの測定に対応する低ノイズ、低リークを追及した次世代半導体デバイス対応のセミオートプローブシステムです。 シールドチャンバー構造による完全なEMIシールド環境内に、プローブおよびチャックが収納されており、温度制御範囲-60℃~+300℃ (特殊オプション+400℃) において、極限領域での超微小信号I-V・C-V測定、1/fノイズ測定、Sパラメータ取得、RTN (ランダムテレグラフノイズ) 測定、高速I-V測定などの面内自動測定に対応します。またオプションで大電流、高電圧パワーデバイスアプリケーションにも対応可能です。

■アプリケーション

・-60℃/-40℃~+200℃/+300℃ の温度特性試験 ・N2、Ar等不活性ガス環境下でのテスト (露点温度-70℃以下、残留酸素濃度100ppm以下) ・微小信号I-V測定 (fAレベル) ・各種C-V測定 (Quasi-Static C-V, HF-CV, RF-CV) 、インピーダンス特性評価 ・RF測定 (~67GHz) ※オプション:sub THz帯域 RF測定 ・1/fノイズ評価 ・RTN (ランダムテレグラフノイズ) 評価 ・超高速I-V測定 ・ハイパワーデバイス測定 (200A Pulse, ±3kV triaxial, ±10kV coaxial) ・プローブカード対応 (マルチサイトWLR対応可)

■拡張アプリケーション

・オプトエレクトロニクス (LED, LD, VCSEL, PDなど) の受発光特性評価アプリケーション ・sub THz帯域 RF測定・ロードプル測定 ・ウエハレベル信頼性試験 (EM, TDDB,HCI, NBTI,BTなど) ※240時間以上の連続試験可能

  • シリーズ

    高低温対応セミオート・プローバー HSP-200SC (8 inch)

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高低温対応セミオート・プローバー HSP-200SC (8 inch) 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 対応ウエハサイズ ステージXY移動範囲 ステージXY繰り返し精度 ステージXY位置決め精度 ステージZ移動範囲 ステージZ繰り返し精度 ステージθ移動範囲 ステージθ位置決め分解能 システム寸法 (W×D×H) システム重量
高低温対応セミオート・プローバー HSP-200SC (8 inch) -品番-HSP-200SC (8 inch)

HSP-200SC (8 inch)

要見積もり ~φ200mm X:210mm,Y:210mm <±2um <±5um 20mm <±1um ±7.5° 0.0002° 1,600×1,100×1,600 mm 約900kg

のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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会社概要

ハイソル株式会社は、半導体、車載デバイス、センサー、LD・LED分野で、輸入製品の販売、及び、各種製造装置の開発・設計・製作・販売を行っている企業です。所在地は東京都台東区です。 1967年に、ウエスト・ボンド社製ワイヤ...

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