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高低温対応セミオート・プローバー HSP-200SC (8 inch)取扱企業
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 対応ウエハサイズ | ステージXY移動範囲 | ステージXY繰り返し精度 | ステージXY位置決め精度 | ステージZ移動範囲 | ステージZ繰り返し精度 | ステージθ移動範囲 | ステージθ位置決め分解能 | システム寸法 (W×D×H) | システム重量 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
HSP-200SC (8 inch) |
要見積もり |
~φ200mm |
X:210mm,Y:210mm |
<±2um |
<±5um |
20mm |
<±1um |
±7.5° |
0.0002° |
1,600×1,100×1,600 mm |
約900kg |
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対応ウエハサイズ mm
100 - 150 150 - 200システム重量 kg
700 - 800 800 - 900 900 - 1100タイプ
12インチ対応タイプ 標準タイプ SOIウエハ対応タイプ マニュアル測定タイプ