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返答率
100.0%
返答時間
40.5時間
シリーズ
スタンダード セミオート・プローバー HSP-300 (12 inch)取扱企業
ハイソル株式会社カテゴリ
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プローバーの製品53点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 対応ウェハサイズ | ステージXY移動範囲 | ステージXY繰り返し精度 | ステージXY位置決め精度 | ステージZ移動範囲 | ステージZ繰り返し精度 | ステージθ移動範囲 | ステージθ位置決め分解能 | 外形寸法・重量 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
HSP-300 (12 inch) |
要見積もり |
~φ300mm |
X:310mm,Y:450mm |
<±1.5um |
<±3um |
20mm |
<±1um |
±7.5° |
0.0002° |
W1,800×D1,060×H1,690mm・約800kg |