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マスクレスで65nmノード以降の微細加工対応を実現 電子ビーム露光装置 F3000取扱企業
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電子ビーム描画装置の製品6点中、注目ランキング上位3点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 対応ウエハサイズ | 最小線幅 | 寸法精度 | 重ね合わせ精度 | 露光方式 | ブロック選択個数 | ブロック倍率 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
F3000 |
要見積もり |
300mm |
40nm以下 |
7nm以下 |
20nm以下 |
ブロック露光方式 |
100個 |
60倍 |