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ライトプロセス用ルーツ型ドライポンプ MUシリーズ-MU100N
ライトプロセス用ルーツ型ドライポンプ MUシリーズ-キヤノンアネルバ株式会社

ライトプロセス用ルーツ型ドライポンプ MUシリーズ
キヤノンアネルバ株式会社



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この製品について

世界最小サイズ、最小水準の省エネルギーを実現したライトプロセス用ルーツ型のドライポンプです。 特長

■小型・軽量化

フットプリント230mm×450mm (0.1m2) で、1660L/minの排気能力を確保した、小型・軽量・高性能ポンプ

■省エネ化

・MU100N到達圧力時の消費電力:0.7kW (従来機比Δ46%) ・冷却水量:2L/min (従来機比Δ43%) ・窒素パージ消費量の低減クリーン用途では窒素パージ不要 (Ar排気は窒素パージが必要)

  • シリーズ

    ライトプロセス用ルーツ型ドライポンプ MUシリーズ

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ライトプロセス用ルーツ型ドライポンプ MUシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 最大排気速度 (L/min) 到達圧力 (Pa) 最大吸気口圧力 最大排気口圧力 吸気口フランジ 排気口フランジ 冷却水 最大供給圧力 (MPa) 冷却水 流量 (L/min) 冷却水 接続口径 窒素 供給圧力 (MPa) 窒素 流量注 (L/min) 窒素 接続口径 電源電圧 電源容量 (kVA) 消費電力注 (kW) 使用環境温度範囲 (℃) 質量 (kg)
ライトプロセス用ルーツ型ドライポンプ MUシリーズ-品番-MU100N

MU100N

要見積もり

1,660

1.5

大気圧

大気圧

NW50

NW25

0.5 (ゲージ圧) IN-OUT差圧:0.2以上

2~3 (温度:10~25℃)

Rc1/4 (セルフシールカプラ付)

0.1~0.7 (ゲージ圧)

0または5

1/4"パイプ継手

三相 AC200~220V 50/60Hz

4

0.7

5~30℃

60

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

キヤノンアネルバ株式会社は1967年に設立し、長年培った真空、薄膜技術をベースに開発した各種装置、真空コンポーネントを製造、販売するメーカーです。 半導体デバイスやストレージデバイスの製造装置をはじめとする、超真空技術...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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