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長期間にわたり除振台の変位データをロギングする低コスト振動モニタ 半導体製造装置振動モニタ-半導体製造装置振動モニタ
長期間にわたり除振台の変位データをロギングする低コスト振動モニタ 半導体製造装置振動モニタ-株式会社ペリテック

長期間にわたり除振台の変位データをロギングする低コスト振動モニタ 半導体製造装置振動モニタ
株式会社ペリテック

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半導体製造ラインでの不良の原因となる振動について、除振台に変位計、加速度計を設置して最大10Hzで長期間連続集録します。 集録したデータは画面上にそのまま／周波数解析してグラフ表示する他、1時間毎のCSVファイルとして出力します。本システムで保存したデータを解析、表示するオプション有り。

■特長 (主な仕様)

・集録ch数15ch (変位6ch、加速度9ch) ・集録データモニタ表示 ・CSVファイル自動保存 (1時間単位で自動分割) ・サンプリング周波数10～0.1Hz ・FFT解析による周波数-パワー密度グラフ表示

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    長期間にわたり除振台の変位データをロギングする低コスト振動モニタ 半導体製造装置振動モニタ

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長期間にわたり除振台の変位データをロギングする低コスト振動モニタ 半導体製造装置振動モニタ 品番1件

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長期間にわたり除振台の変位データをロギングする低コスト振動モニタ 半導体製造装置振動モニタ-品番-半導体製造装置振動モニタ

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使用用途

#回転機診断 #構造解析 #異常検知 #車両試験 #建築評価 #騒音解析 #地震観測 #材料試験 #製品検査 #振動試験

周波数レンジ Hz

0 - 100 100 - 500 500 - 3,000 3,000 - 20,000 20,000 - 50,000

入力チャンネル数 ch

0 - 10 10 - 50 50 - 250

加速度測定範囲 m/s2

0 - 20 20 - 50 50 - 70

OS

Windows11 Windows10 Windows8.1 Windows8 Windows7 WindowsVista WindowsXP

AD分解能 bit

0 - 16 16 - 24 24 - 32 32 - 40

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