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長期間にわたり除振台の変位データをロギングする低コスト振動モニタ 半導体製造装置振動モニタ-半導体製造装置振動モニタ
長期間にわたり除振台の変位データをロギングする低コスト振動モニタ 半導体製造装置振動モニタ-株式会社ペリテック

長期間にわたり除振台の変位データをロギングする低コスト振動モニタ 半導体製造装置振動モニタ
株式会社ペリテック

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この製品について

半導体製造ラインでの不良の原因となる振動について、除振台に変位計、加速度計を設置して最大10Hzで長期間連続集録します。 集録したデータは画面上にそのまま／周波数解析してグラフ表示する他、1時間毎のCSVファイルとして出力します。本システムで保存したデータを解析、表示するオプション有り。

■特長 (主な仕様)

・集録ch数15ch (変位6ch、加速度9ch) ・集録データモニタ表示 ・CSVファイル自動保存 (1時間単位で自動分割) ・サンプリング周波数10～0.1Hz ・FFT解析による周波数-パワー密度グラフ表示

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    長期間にわたり除振台の変位データをロギングする低コスト振動モニタ 半導体製造装置振動モニタ

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