フィルム加熱ウエハホットチャック/PH201シリーズ-株式会社MSAファクトリー

フィルム加熱ウエハホットチャック/PH201シリーズ
株式会社MSAファクトリー

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この製品について

■主な用途ウエハ用温度特性試験、プローブ搭載用ホットチャックガラスチャック、基板電気特性試験

■デジタル温度コントローラMSAファクトリー標準温度コントローラとワンタッチコネクタで接続いたします。高精度な温度コントロールが簡単な操作ですぐに行えます。

■チャックパターンのユニバーサルパターン標準吸着パターン：中心の吸着孔にワークを置けば、サイズはユニバーサル対応。例：6”仕様のチャックであれば、6”、4”、3”と6”以下のサイズであればいずれにも使用可能です。

■チャック面導電性／絶縁性／リークチャック面は、金メッキ仕様 (200℃) 導電性仕様と、アルマイト処理 (200℃) 絶縁性仕様の2パターンです。

型番
この商品には4種類の型番があります

シリーズ
フィルム加熱ウエハホットチャック/PH201シリーズ

取扱企業
株式会社MSAファクトリー

カテゴリ

熱源

プレートヒータ

加工・工作機器

加熱装置

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フィルム加熱ウエハホットチャック/PH201シリーズ品番4件

フィルター

品番	価格 (税抜)	最高温度	プレートサイズ 4" 6”	プレート材質	表面処理金メッキ黒アルマイト	電源電圧	適合温度コントローラ	特長	オプション
PH201-K-04	要見積もり	200℃	4"	アルミ合金	金メッキ	AC100V	PCC100G、PCC107	標準構成	プローバ取付用アダプタ (カスタマイズ対応)
PH201-S-04	要見積もり	200℃	4"	アルミ合金	黒アルマイト	AC100V	PCC100G、PCC107	標準構成	プローバ取付用アダプタ (カスタマイズ対応)
PH201-K-06	要見積もり	200℃	6”	アルミ合金	金メッキ	AC100V	PCC100G、PCC107	標準構成	プローバ取付用アダプタ (カスタマイズ対応)
PH201-S-06	要見積もり	200℃	6”	アルミ合金	黒アルマイト	AC100V	PCC100G、PCC107	標準構成	プローバ取付用アダプタ (カスタマイズ対応)