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Hot Plate/工業用ホットプレート リフター・カバー付きホットチャック／加熱炉 PA-LIFシリーズ-株式会社MSAファクトリー

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■主な用途

大型基板、ガラス加熱用リフター、カバー付きホットプレートPA-LIFシリーズの他、ウエハ加熱 (RPシリーズ) 、材表研究・評価、無機材料熱処理、耐熱性評価、ベーキング等、RPシリーズには、両面加熱や石英製ベルジャーもオプション対応ありますので、材料のガス置換加熱にもご使用いただけます。

■MSAファクトリー　加熱ノウハウ

素材 (超耐熱プレート、熱歪対策、チタン製シャーシ) ヒータ設計、断熱、熱輻射など様々なノウハウを結集しております。

■高性能・多機能

大型基板の加熱搬送用にリフター機能 (基板の上下駆動) 、基板の加熱時の反り対応としての真空チャック機能などカスタムで追加可能です。

■安全性

過昇温監視機能、非常停止機能、漏電検知機能、負荷断線機能などを盛り込んだ安全機能がコントローラに装備されています。

  • シリーズ

    Hot Plate/工業用ホットプレート リフター・カバー付きホットチャック／加熱炉 PA-LIFシリーズ

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Hot Plate/工業用ホットプレート リフター・カバー付きホットチャック／加熱炉 PA-LIFシリーズ 品番4件

フィルター

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電源電圧
Hot Plate/工業用ホットプレート リフター・カバー付きホットチャック／加熱炉 PA-LIFシリーズ-品番-PA8020-LIF

PA8020-LIF

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Hot Plate/工業用ホットプレート リフター・カバー付きホットチャック／加熱炉 PA-LIFシリーズ-品番-RP10020

RP10020

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220×220mm

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炉内容積 L

0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 30 30 - 60

温度分布

0 - 3 3 - 6 6 - 10

電源電圧

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社MSAファクトリーは、工業用ホットプレートなどの生産・研究機器の開発・製造・販売を中心に手掛けている企業です。 2007年に設立され、当初は冶工具や加工部品の製作請負を行っていました。その後、加熱関係事業に参入...

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  • 本社所在地: 東京都

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