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計測機器 ナノプローバ-ナノプローバ
計測機器 ナノプローバ-株式会社フィジックステクノロジー

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この製品について

SmarAct社のナノプローバSMARPROBE-LXは、ナノメートル分解能のクローズドループプロービングを高い効率と安定性を実現するために開発されました。最大8個のプローブを配置することができ、サンプルステージに固定されたサンプルの分析を行う事ができます。応用例としては、5nmトランジスタなどの故障解析用のSEMや大型サンプルの大気プロービング用に光学顕微鏡に活用できます。

■特徴

・分解能1nmでのクローズドループ制御 ・アクティブな位置ホールド ・広い移動範囲と低い熱ドリフト ・30x30mm全域でのプロービング ・高速EBAC/EBICイメージング ・オールインワンのユーザーインターフェース ・全てのプローブの自動アプローチとアライメント ・SEM像でのポイント&クリックナビゲーション

  • シリーズ

    計測機器 ナノプローバ

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計測機器 ナノプローバ 品番1件

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ナノプローバ

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対応ウエハサイズ mm

100 - 150 150 - 200

システム重量 kg

700 - 800 800 - 900 900 - 1100

タイプ

12インチ対応タイプ 標準タイプ SOIウエハ対応タイプ マニュアル測定タイプ

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この商品の取り扱い会社情報

  • 本社所在地: 千葉県
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