計測機器ナノプローバ-ナノプローバ

計測機器ナノプローバ-株式会社フィジックステクノロジー

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計測機器ナノプローバ
株式会社フィジックステクノロジー

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この製品について

SmarAct社のナノプローバSMARPROBE-LXは、ナノメートル分解能のクローズドループプロービングを高い効率と安定性を実現するために開発されました。最大8個のプローブを配置することができ、サンプルステージに固定されたサンプルの分析を行う事ができます。応用例としては、5nmトランジスタなどの故障解析用のSEMや大型サンプルの大気プロービング用に光学顕微鏡に活用できます。

■特徴・分解能1nmでのクローズドループ制御
・アクティブな位置ホールド
・広い移動範囲と低い熱ドリフト
・30x30mm全域でのプロービング
・高速EBAC/EBICイメージング
・オールインワンのユーザーインターフェース
・全てのプローブの自動アプローチとアライメント
・SEM像でのポイント＆クリックナビゲーション

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
計測機器ナノプローバ

取扱企業
株式会社フィジックステクノロジー

カテゴリ

検査装置

プローバー

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本社所在地: 千葉県

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