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一体型チルトセンサ-ST-3100
一体型チルトセンサ-株式会社カツラ・オプト・システムズ


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この製品について

■開発の背景

従来型のような大きなチルトセンサでは組み込みが困難でした。そこで装置組み込みも想定した小型でしかも高品位なチルトセンサがこれまで諦めていた機内測定を可能にしました。 それによりカツラオプトシステムズで培った非接触測定の技術を応用すれば歩留まりの向上、製品品質の向上に貢献いたします。

■特徴

・小型、装置や治具組み込みが可能 ・センサとプロセッサ、一体型でシンプルな構成 ・傾斜測定±54分、高速測定

■革新的な技術

センサとプロセッサを一体化して革新技術でコンパクト、しかも高性能

  • シリーズ

    一体型チルトセンサ

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一体型チルトセンサ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 測定対象 ワーキングディスタンス 測定項目 測定範囲 Repeatability Linearity デジタル出力 出力更新レート 波長 出力 ビーム径 外形寸法 (突起部除く) 質量
一体型チルトセンサ-品番-ST-3100

ST-3100

要見積もり

半導体ウェーハ、光学平面

0~200mm

チルト (ΘX,ΘY)

±54分 (円形範囲)

0.05分

±0.15% of F.S. (±0.16分相当)

RS-232C

1,600回/秒

660±10nm

クラス1

φ1mm

W65×D75×H34mm

0.2kg

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

The worid's first innovation
世界初!に挑む 非接触光学精密測定機メーカー

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  • 本社所在地: 神奈川県
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