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DC 電源 iPA プラットフォーム-iPA-0580
DC 電源 iPA プラットフォーム-有限会社フォーユー

DC 電源 iPA プラットフォーム
有限会社フォーユー

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この製品について

高品質で信頼性の高い DC 電源 iPA プラットフォームは、優れたプロセスの一貫性と制御を実現し、幅広い用途における産業用真空プラズマプロセスの変動を大幅に最小限に抑え、歩留まりを向上させます。フル機能のフロント パネルを備えた 3U ラック マウント可能な空冷プラズマ電源装置のiPA シリーズは、簡単なローカル制御を可能にし、広範なアナログ インターフェイスにより包括的なリモート機能を提供します。 付属の Profibus、DeviceNet、RS-232 デジタル インターフェイスにより、iPAをシステム設計に簡単に統合できます。全機種が空冷による冷却です。

■特長

・成膜の高品質と高速スループットを実現します ・フィルム、基板、および機器の損傷を低減します ・極端なアーク放電条件下でも安定したスループットと電力供給が出来ます。定電圧モード (50V 以上) で出力できます ・超高速アーク除去と、通常動作へ最短時間で復帰します。短いアーク発生後のプラズマ再開時間 12 μ秒 ・95% 以上の高効率です ・簡単な統合と制御が出来ます ・高い信頼性と低価格です

■アプリケーション

・スパッタ / PVD ・エッチング

■仕様

・500W~15KW (オプション20KW) ・ジュール モード - 最適化されたエネルギー供給 ・空冷 ・パッシブフロントパネル ・インターフェイス:Profibus、DeviceNet、RS-232/485 およびアナログ ユーザー ポート

  • シリーズ

    DC 電源 iPA プラットフォーム

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DC 電源 iPA プラットフォーム 品番6件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) 外型寸法 取り付け AC 入力コネクタ DC 出力コネクタ AC 入力電圧 点火電圧 電力制御精度 制御方式 冷却方式
DC 電源 iPA プラットフォーム-品番-iPA-0580

iPA-0580

要見積もり

631mm (D) x 483mm (W) x 132.5mm (H)
25.08" (D) x 19.01" (W) x 5.22" (H)

26Kg

19" rack mountable, 3U height

Harting Han Modular 3 Module

Harting Han Modular 2 Module

208Vac ±5, 3 相, 50/60Hz
400Vac ±10, 3 相, 50/60Hz (オプション)

3 x 32A
3 x 16A

5KW

800V

14A

>1,500V

電流、電圧、または電力の設定値の±1%以内

定電力制御 (P制御) / 定電流制御 (I制御) / 定電圧制御 (V制御)

強制空冷の最大周囲温度 40℃

DC 電源 iPA プラットフォーム-品番-iPA-05100

iPA-05100

要見積もり

631mm (D) x 483mm (W) x 132.5mm (H)
25.08" (D) x 19.01" (W) x 5.22" (H)

26Kg

19" rack mountable, 3U height

Harting Han Modular 3 Module

Harting Han Modular 2 Module

208Vac ±5, 3 相, 50/60Hz
400Vac ±10, 3 相, 50/60Hz (オプション)

3 x 32A
3 x 16A

5KW

1,000V

10A

>1,500V

電流、電圧、または電力の設定値の±1%以内

定電力制御 (P制御) / 定電流制御 (I制御) / 定電圧制御 (V制御)

強制空冷の最大周囲温度 40℃

DC 電源 iPA プラットフォーム-品番-iPA-1080

iPA-1080

要見積もり

631mm (D) x 483mm (W) x 132.5mm (H)
25.08" (D) x 19.01" (W) x 5.22" (H)

28Kg

19" rack mountable, 3U height

Harting Han Modular 3 Module

Harting Han Modular 2 Module

208Vac ±5, 3 相, 50/60Hz
400Vac ±10, 3 相, 50/60Hz (オプション)

3 x 40A
3 x 20A

10KW

800V

25A

>1,500V

電流、電圧、または電力の設定値の±1%以内

定電力制御 (P制御) / 定電流制御 (I制御) / 定電圧制御 (V制御)

強制空冷の最大周囲温度 40℃

DC 電源 iPA プラットフォーム-品番-iPA-10100

iPA-10100

要見積もり

631mm (D) x 483mm (W) x 132.5mm (H)
25.08" (D) x 19.01" (W) x 5.22" (H)

28Kg

19" rack mountable, 3U height

Harting Han Modular 3 Module

Harting Han Modular 2 Module

208Vac ±5, 3 相, 50/60Hz
400Vac ±10, 3 相, 50/60Hz (オプション)

3 x 40A
3 x 20A

10KW

1,000V

20A

>1,500V

電流、電圧、または電力の設定値の±1%以内

定電力制御 (P制御) / 定電流制御 (I制御) / 定電圧制御 (V制御)

強制空冷の最大周囲温度 40℃

DC 電源 iPA プラットフォーム-品番-iPA-1580

iPA-1580

要見積もり

631mm (D) x 483mm (W) x 132.5mm (H)
25.08" (D) x 19.01" (W) x 5.22" (H)

30Kg

19" rack mountable, 3U height

Harting Han Modular 3 Module

Harting Han Modular 2 Module

208Vac ±5, 3 相, 50/60Hz
400Vac ±10, 3 相, 50/60Hz (オプション)

3 x 50A
3 x 25A

15KW

800V

30A

>1,500V

電流、電圧、または電力の設定値の±1%以内

定電力制御 (P制御) / 定電流制御 (I制御) / 定電圧制御 (V制御)

強制空冷の最大周囲温度 40℃

DC 電源 iPA プラットフォーム-品番-iPA-15100

iPA-15100

要見積もり

631mm (D) x 483mm (W) x 132.5mm (H)
25.08" (D) x 19.01" (W) x 5.22" (H)

30Kg

19" rack mountable, 3U height

Harting Han Modular 3 Module

Harting Han Modular 2 Module

208Vac ±5, 3 相, 50/60Hz
400Vac ±10, 3 相, 50/60Hz (オプション)

3 x 50A
3 x 25A

15KW

1,000V

25A

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使用用途

#LED照明 #サーバラック #ポータブル電源 #家電製品 #研究開発 #産業制御 #車載機器 #通信機器

種類

固定出力型 可変出力型 スイッチング型 線形型

特徴

高精度型 防水型 コンパクト型

出力電圧 V

0 - 10 10 - 40 40 - 100 100 - 200 200 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 25,000

出力電流 A

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 600 600 - 2,000

入力電圧 V

80 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600

定格電力 kW

0 - 1 1 - 10 10 - 20 20 - 150

リップルノイズ mV

0 - 5 5 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,600

負荷変動率 mA

0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100 100 - 200 200 - 300

チャンネル数

0 - 3 3 - 15

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