DC 電源 iPA プラットフォーム
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この製品について

高品質で信頼性の高い DC 電源 iPA プラットフォームは、優れたプロセスの一貫性と制御を実現し、幅広い用途における産業用真空プラズマプロセスの変動を大幅に最小限に抑え、歩留まりを向上させます。フル機能のフロント パネルを備えた 3U ラック マウント可能な空冷プラズマ電源装置のiPA シリーズは、簡単なローカル制御を可能にし、広範なアナログ インターフェイスにより包括的なリモート機能を提供します。

付属の Profibus、DeviceNet、RS-232 デジタル インターフェイスにより、iPAをシステム設計に簡単に統合できます。全機種が空冷による冷却です。

■特長・成膜の高品質と高速スループットを実現します
・フィルム、基板、および機器の損傷を低減します
・極端なアーク放電条件下でも安定したスループットと電力供給が出来ます。定電圧モード (50V 以上) で出力できます
・超高速アーク除去と、通常動作へ最短時間で復帰します。短いアーク発生後のプラズマ再開時間 12 μ秒
・95% 以上の高効率です
・簡単な統合と制御が出来ます
・高い信頼性と低価格です

■アプリケーション・スパッタ / PVD
・エッチング

■仕様・500W~15KW (オプション20KW) 
・ジュール モード - 最適化されたエネルギー供給
・空冷
・パッシブフロントパネル
・インターフェイス：Profibus、DeviceNet、RS-232/485 およびアナログ ユーザー ポート

型番
この商品には6種類の型番があります

シリーズ
DC 電源 iPA プラットフォーム

取扱企業
有限会社フォーユー

カテゴリ

電源

DC電源

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DC 電源 iPA プラットフォーム品番6件

フィルター

品番	価格 (税抜)	外型寸法	質量 26Kg 28Kg 30Kg	取り付け	AC 入力コネクタ	DC 出力コネクタ	AC 入力電圧	ヒューズ 3 x 32A 3 x 16A 3 x 40A 3 x 20A 3 x 50A 3 x 25A	最大出力電力 5KW 10KW 15KW	最大電圧 800V 1,000V	最大電流 14A 10A 25A 20A 30A	点火電圧	電力制御精度	制御方式	冷却方式
iPA-0580	要見積もり	631mm (D) x 483mm (W) x 132.5mm (H) 25.08" (D) x 19.01" (W) x 5.22" (H)	26Kg	19" rack mountable, 3U height	Harting Han Modular 3 Module	Harting Han Modular 2 Module	208Vac ±5, 3 相, 50/60Hz 400Vac ±10, 3 相, 50/60Hz (オプション)	3 x 32A 3 x 16A	5KW	800V	14A	>1,500V	電流、電圧、または電力の設定値の±1%以内	定電力制御 (P制御) / 定電流制御 (I制御) / 定電圧制御 (V制御)	強制空冷の最大周囲温度 40℃
iPA-05100	要見積もり	631mm (D) x 483mm (W) x 132.5mm (H) 25.08" (D) x 19.01" (W) x 5.22" (H)	26Kg	19" rack mountable, 3U height	Harting Han Modular 3 Module	Harting Han Modular 2 Module	208Vac ±5, 3 相, 50/60Hz 400Vac ±10, 3 相, 50/60Hz (オプション)	3 x 32A 3 x 16A	5KW	1,000V	10A	>1,500V	電流、電圧、または電力の設定値の±1%以内	定電力制御 (P制御) / 定電流制御 (I制御) / 定電圧制御 (V制御)	強制空冷の最大周囲温度 40℃
iPA-1080	要見積もり	631mm (D) x 483mm (W) x 132.5mm (H) 25.08" (D) x 19.01" (W) x 5.22" (H)	28Kg	19" rack mountable, 3U height	Harting Han Modular 3 Module	Harting Han Modular 2 Module	208Vac ±5, 3 相, 50/60Hz 400Vac ±10, 3 相, 50/60Hz (オプション)	3 x 40A 3 x 20A	10KW	800V	25A	>1,500V	電流、電圧、または電力の設定値の±1%以内	定電力制御 (P制御) / 定電流制御 (I制御) / 定電圧制御 (V制御)	強制空冷の最大周囲温度 40℃
iPA-10100	要見積もり	631mm (D) x 483mm (W) x 132.5mm (H) 25.08" (D) x 19.01" (W) x 5.22" (H)	28Kg	19" rack mountable, 3U height	Harting Han Modular 3 Module	Harting Han Modular 2 Module	208Vac ±5, 3 相, 50/60Hz 400Vac ±10, 3 相, 50/60Hz (オプション)	3 x 40A 3 x 20A	10KW	1,000V	20A	>1,500V	電流、電圧、または電力の設定値の±1%以内	定電力制御 (P制御) / 定電流制御 (I制御) / 定電圧制御 (V制御)	強制空冷の最大周囲温度 40℃
iPA-1580	要見積もり	631mm (D) x 483mm (W) x 132.5mm (H) 25.08" (D) x 19.01" (W) x 5.22" (H)	30Kg	19" rack mountable, 3U height	Harting Han Modular 3 Module	Harting Han Modular 2 Module	208Vac ±5, 3 相, 50/60Hz 400Vac ±10, 3 相, 50/60Hz (オプション)	3 x 50A 3 x 25A	15KW	800V	30A	>1,500V	電流、電圧、または電力の設定値の±1%以内	定電力制御 (P制御) / 定電流制御 (I制御) / 定電圧制御 (V制御)	強制空冷の最大周囲温度 40℃
iPA-15100	要見積もり	631mm (D) x 483mm (W) x 132.5mm (H) 25.08" (D) x 19.01" (W) x 5.22" (H)	30Kg	19" rack mountable, 3U height	Harting Han Modular 3 Module	Harting Han Modular 2 Module	208Vac ±5, 3 相, 50/60Hz 400Vac ±10, 3 相, 50/60Hz (オプション)	3 x 50A 3 x 25A	15KW	1,000V	25A	>1,500V	電流、電圧、または電力の設定値の±1%以内	定電力制御 (P制御) / 定電流制御 (I制御) / 定電圧制御 (V制御)	強制空冷の最大周囲温度 40℃