DC 電源 iPA プラットフォーム
有限会社フォーユー
この製品について
■特長
・成膜の高品質と高速スループットを実現します ・フィルム、基板、および機器の損傷を低減します ・極端なアーク放電条件下でも安定したスループットと電力供給が出来ます。定電圧モード (50V 以上) で出力できます ・超高速アーク除去と、通常動作へ最短時間で復帰します。短いアーク発生後のプラズマ再開時間 12 μ秒 ・95% 以上の高効率です ・簡単な統合と制御が出来ます ・高い信頼性と低価格です■アプリケーション
・スパッタ / PVD ・エッチング■仕様
・500W~15KW (オプション20KW) ・ジュール モード - 最適化されたエネルギー供給 ・空冷 ・パッシブフロントパネル ・インターフェイス：Profibus、DeviceNet、RS-232/485 およびアナログ ユーザー ポート-
シリーズ
DC 電源 iPA プラットフォーム
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取扱企業
有限会社フォーユー
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カテゴリ
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DC 電源 iPA プラットフォーム 品番6件
各品番毎の詳細は品番をクリックしてください
| まとめて問合せ・見積 | 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 外型寸法 | 質量 | 取り付け | AC 入力コネクタ | DC 出力コネクタ | AC 入力電圧 | ヒューズ | 最大出力電力 | 最大電圧 | 最大電流 | 点火電圧 | 電力制御精度 | 制御方式 | 冷却方式 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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iPA-0580 |
要見積もり |
631mm (D) x 483mm (W) x 132.5mm (H) 25.08" (D) x 19.01" (W) x 5.22" (H) |
26Kg | 19" rack mountable, 3U height | Harting Han Modular 3 Module | Harting Han Modular 2 Module |
208Vac ±5, 3 相, 50/60Hz 400Vac ±10, 3 相, 50/60Hz (オプション) |
3 x 32A 3 x 16A |
5KW | 800V | 14A | >1,500V | 電流、電圧、または電力の設定値の±1%以内 | 定電力制御 (P制御) / 定電流制御 (I制御) / 定電圧制御 (V制御) | 強制空冷の最大周囲温度 40℃ | |
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iPA-05100 |
要見積もり |
631mm (D) x 483mm (W) x 132.5mm (H) 25.08" (D) x 19.01" (W) x 5.22" (H) |
26Kg | 19" rack mountable, 3U height | Harting Han Modular 3 Module | Harting Han Modular 2 Module |
208Vac ±5, 3 相, 50/60Hz 400Vac ±10, 3 相, 50/60Hz (オプション) |
3 x 32A 3 x 16A |
5KW | 1,000V | 10A | >1,500V | 電流、電圧、または電力の設定値の±1%以内 | 定電力制御 (P制御) / 定電流制御 (I制御) / 定電圧制御 (V制御) | 強制空冷の最大周囲温度 40℃ | |
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iPA-1080 |
要見積もり |
631mm (D) x 483mm (W) x 132.5mm (H) 25.08" (D) x 19.01" (W) x 5.22" (H) |
28Kg | 19" rack mountable, 3U height | Harting Han Modular 3 Module | Harting Han Modular 2 Module |
208Vac ±5, 3 相, 50/60Hz 400Vac ±10, 3 相, 50/60Hz (オプション) |
3 x 40A 3 x 20A |
10KW | 800V | 25A | >1,500V | 電流、電圧、または電力の設定値の±1%以内 | 定電力制御 (P制御) / 定電流制御 (I制御) / 定電圧制御 (V制御) | 強制空冷の最大周囲温度 40℃ | |
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iPA-10100 |
要見積もり |
631mm (D) x 483mm (W) x 132.5mm (H) 25.08" (D) x 19.01" (W) x 5.22" (H) |
28Kg | 19" rack mountable, 3U height | Harting Han Modular 3 Module | Harting Han Modular 2 Module |
208Vac ±5, 3 相, 50/60Hz 400Vac ±10, 3 相, 50/60Hz (オプション) |
3 x 40A 3 x 20A |
10KW | 1,000V | 20A | >1,500V | 電流、電圧、または電力の設定値の±1%以内 | 定電力制御 (P制御) / 定電流制御 (I制御) / 定電圧制御 (V制御) | 強制空冷の最大周囲温度 40℃ | |
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iPA-1580 |
要見積もり |
631mm (D) x 483mm (W) x 132.5mm (H) 25.08" (D) x 19.01" (W) x 5.22" (H) |
30Kg | 19" rack mountable, 3U height | Harting Han Modular 3 Module | Harting Han Modular 2 Module |
208Vac ±5, 3 相, 50/60Hz 400Vac ±10, 3 相, 50/60Hz (オプション) |
3 x 50A 3 x 25A |
15KW | 800V | 30A | >1,500V | 電流、電圧、または電力の設定値の±1%以内 | 定電力制御 (P制御) / 定電流制御 (I制御) / 定電圧制御 (V制御) | 強制空冷の最大周囲温度 40℃ | |
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iPA-15100 |
要見積もり |
631mm (D) x 483mm (W) x 132.5mm (H) 25.08" (D) x 19.01" (W) x 5.22" (H) |
30Kg | 19" rack mountable, 3U height | Harting Han Modular 3 Module | Harting Han Modular 2 Module |
208Vac ±5, 3 相, 50/60Hz 400Vac ±10, 3 相, 50/60Hz (オプション) |
3 x 50A 3 x 25A |
15KW | 1,000V | 25A | >1,500V | 電流、電圧、または電力の設定値の±1%以内 | 定電力制御 (P制御) / 定電流制御 (I制御) / 定電圧制御 (V制御) | 強制空冷の最大周囲温度 40℃ |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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