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HIPIMS用パルス電源 MP2-MP2-35
HIPIMS用パルス電源 MP2-有限会社フォーユー

HIPIMS用パルス電源 MP2
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この製品について

■特徴

バイポーラ電源は、同じコンデンサーに、プロセス中のチャンバー内の残留電流を蓄電し、更にアーク電流を最小に抑えて、外部へ出力し、電気代を30％以上節電出来ます。このパルス電源は、コンパクトで安価なので、ヨーロッパ、アジアで多数の納入実績があります。 1台のDC電源、1台のパルス電源で、設定した電圧値の電極無し2出力を、自動で切り替えて出力し、同一チャンバー内の2つのカソードで高精度の成膜が出来ます。DC±、UP (ユニポーラ) ±、バイポーラ (BP) 、 対称±電圧よるパルストレインでのプログラムが最大6種類の出力モードで使用出来ます。

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    HIPIMS用パルス電源 MP2

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