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HIPIMS用パルス電源 MP2-HC-MP2-HC 200
HIPIMS用パルス電源 MP2-HC-有限会社フォーユー

HIPIMS用パルス電源 MP2-HC
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■特徴

バイポーラ電源は、同じコンデンサーに、プロセス中のチャンバー内の残留電流を蓄電し、更にアーク電流を最小に抑えて、外部へ出力し、電気代を30％以上節電出来ます。このパルス電源は、コンパクトで安価なので、ヨーロッパ、アジアで多数の納入実績があります。 1台のDC電源、1台のパルス電源で、設定した電圧値の電極無し2出力を、自動で切り替えて出力し、同一チャンバー内の2つのカソードで高精度の成膜が出来ます。DC±、UP (ユニポーラ) ±、バイポーラ (BP) 、 対称±電圧よるパルストレインでのプログラムが最大6種類の出力モードで使用出来ます。 世界初Trigger Delay機能をパルス電源に内蔵。Master電源のパルス出力と、バイアス電源のパルス印可のタイミングを遅らせて、効率的に必要なイオンによる成膜を行う為のtrigger delay機能をオプションで選択出来ます。2.00～1,000.00μsecの間で、20nsec単位で設定出来ます。

  • シリーズ

    HIPIMS用パルス電源 MP2-HC

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MP2-HC 200

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