HIPIMS用パルス電源 MP2-HC
有限会社フォーユー

無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

■特徴バイポーラ電源は、同じコンデンサーに、プロセス中のチャンバー内の残留電流を蓄電し、更にアーク電流を最小に抑えて、外部へ出力し、電気代を30％以上節電出来ます。このパルス電源は、コンパクトで安価なので、ヨーロッパ、アジアで多数の納入実績があります。

1台のDC電源、1台のパルス電源で、設定した電圧値の電極無し2出力を、自動で切り替えて出力し、同一チャンバー内の2つのカソードで高精度の成膜が出来ます。DC±、UP (ユニポーラ) ±、バイポーラ (BP) 、 対称±電圧よるパルストレインでのプログラムが最大6種類の出力モードで使用出来ます。

世界初Trigger Delay機能をパルス電源に内蔵。Master電源のパルス出力と、バイアス電源のパルス印可のタイミングを遅らせて、効率的に必要なイオンによる成膜を行う為のtrigger delay機能をオプションで選択出来ます。2.00～1,000.00μsecの間で、20nsec単位で設定出来ます。