HIPIMS用パルス電源 MP2-HC
有限会社フォーユー
この製品について
■特徴
バイポーラ電源は、同じコンデンサーに、プロセス中のチャンバー内の残留電流を蓄電し、更にアーク電流を最小に抑えて、外部へ出力し、電気代を30％以上節電出来ます。このパルス電源は、コンパクトで安価なので、ヨーロッパ、アジアで多数の納入実績があります。 1台のDC電源、1台のパルス電源で、設定した電圧値の電極無し2出力を、自動で切り替えて出力し、同一チャンバー内の2つのカソードで高精度の成膜が出来ます。DC±、UP (ユニポーラ) ±、バイポーラ (BP) 、 対称±電圧よるパルストレインでのプログラムが最大6種類の出力モードで使用出来ます。 世界初Trigger Delay機能をパルス電源に内蔵。Master電源のパルス出力と、バイアス電源のパルス印可のタイミングを遅らせて、効率的に必要なイオンによる成膜を行う為のtrigger delay機能をオプションで選択出来ます。2.00～1,000.00μsecの間で、20nsec単位で設定出来ます。-
シリーズ
HIPIMS用パルス電源 MP2-HC
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取扱企業
有限会社フォーユー
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カテゴリ
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HIPIMS用パルス電源 MP2-HC 品番5件
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| まとめて問合せ・見積 | 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) |
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MP2-HC 200 |
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MP2-HC 400 |
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MP2-HC 600 |
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MP2-HC 1000 |
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MP2-HC 1500 |
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のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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- 本社所在地: 埼玉県