水冷式スパッタDC電源 HXシリーズ
XQ Instruments

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この製品について

非リアクティブプロセスにおいて、HX900からHX1400のモデルは、非常に信頼性が高く、そして経済的なパワーサプライです。

ユーザーの様々なアプリケーションや仕様に合わせ、その電源構成を柔軟に変えることが可能です。アーク制御機構は、重要なプロセス異常を自動で瞬時に検知し、抑制します。

調整やプログラミングは一切不要な為、オペレーションを簡素化でき、また異なるターゲットを使用する際も、そのままの初期設定でご利用頂けます。高効率な冷却性能は、エアコンが完備されていない環境下でも長い期間安定してご使用いただけます。

■特徴・出力90kW-140kW (4モデル) 
・冷却水
・磁気バルブ制御
・長さ4メータまでのカソード向け、非リアクティブプロセスに最適
・高速酸化除去機能
・完全自動アーク制御 (40,000アーク/秒まで) 
・自動出力補正
・高いパワー効率 (95％) 

型番
この商品には4種類の型番があります

シリーズ
水冷式スパッタDC電源 HXシリーズ

取扱企業
XQ Instruments

カテゴリ

電源

DC電源

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水冷式スパッタDC電源 HXシリーズ品番4件

フィルター

品番	価格 (税抜)	DC-出力 90 kW 800 V 180 A 105 kW 800 V 210 A 120 kW 800 V 240 A 140 kW 800 V 280 A
HX 900	要見積もり	90 kW 800 V 180 A
HX 1050	要見積もり	105 kW 800 V 210 A
HX 1200	要見積もり	120 kW 800 V 240 A
HX 1400	要見積もり	140 kW 800 V 280 A