ユニポーラパルスジェネレータ HXDシリーズ
XQ Instruments

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この製品について

ハイパワーと、容易な操作性、そして安定したプロセスを得ようとした場合、HXD901-HXD1401を利用することが、最も簡単な解決策です。モジュール化されたユニポーラパルスジェネレータは、4mまでの長さのカソードでのリアクティブプロセス成膜を最適化します。

このジェネレータは、完全自動で、すべての関連するプロセスパラメータを認識し、そのアーク検知とアーク除去を独立して制御します。オペレーション再開時や、ターゲット交換時には、一切の手動調整は不要です。また非常に冷却効率が優れるため、仮にエアーコンディショナーが設置されていない環境で使用されても、高い信頼性を保証します。

■特徴・出力：90kWから140kW
・水冷
・マグネティックバルブ制御
・4mまでの長さのカソードのリアクティブプロセスに最適
・アーク抑制が重要なターゲットに最適
・完全自動アーク制御 (0.3mJ/kW) 
・自動出力制御
・リバースパルスによる高速放電

型番
この商品には4種類の型番があります

シリーズ
ユニポーラパルスジェネレータ HXDシリーズ

取扱企業
XQ Instruments

カテゴリ

ジェネレータ・発生器

パルス発生器

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ユニポーラパルスジェネレータ HXDシリーズ品番4件

フィルター

品番	価格 (税抜)	DC-出力 20 kHz 800 V 90 kW 20 kHz 800 V 105 kW 20 kHz 800 V 120 kW 20 kHz 800 V 140 kW
HXD 901	要見積もり	20 kHz 800 V 90 kW
HXD 1051	要見積もり	20 kHz 800 V 105 kW
HXD 1201	要見積もり	20 kHz 800 V 120 kW
HXD 1401	要見積もり	20 kHz 800 V 140 kW