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バイポーラパルスジェネレータ HXBシリーズ-HXB 900
バイポーラパルスジェネレータ HXBシリーズ-XQ Instruments

バイポーラパルスジェネレータ HXBシリーズ
XQ Instruments

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この製品について

MF/バイポーラパルスジェネレータHXB900からHXB1400は、一つのキャビネットで、大きな出力、コンパクトデザイン、及び高速アーク制御を実現します。このバイポーラパルスジェネレータは、特にカソード長さ4mまでの、反応性スパッタプロセスの為に設計されております。 本機は、デュアルカソードにおける左右のカソードへ均等にパワーを配分する自動シンメトリック機能と、意図的に10：90％まで配分パワーを調整するパワー比制御機能を備えます。それにより、成膜品質と、ターゲットのライフを最適化します。 このジェネレータは、完全自動ですべての関連プロセスパラメータを認識し、絶えずアーキング検出とアーキング抑制を自動調整致します。生産開始時や、ターゲット交換時においても、一切オペレーターがパラメータ調整をする必要はありません。また、強力な水冷機構は、気温調整されていない環境下においても、高い信頼性を保証します。

■特徴

・出力90kWから140kWまで ・水冷 ・反応性スパッタ ・長さ4mまでのカソードに対応 ・自動シンメトリック調整システム ・10：90までの左右非対称パワー比コントロール ・完全自動アーク制御 (0.3 mJ / kW)

  • シリーズ

    バイポーラパルスジェネレータ HXBシリーズ

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バイポーラパルスジェネレータ HXBシリーズ 品番4件

フィルター

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商品画像 品番 価格 (税抜)
バイポーラパルスジェネレータ HXBシリーズ-品番-HXB 900

HXB 900

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20 kHz + / - 800 V 90 kW

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使用用途

#DC電源連携 #アーク制御 #スパッタ #ターゲットライフ #タイミング制御 #トリガー信号源 #機器同期 #広帯域スペクトル生成

電源電圧 V

-10 - 0 0 - 10 10 - 20 20 - 30

回転トルク mN・m

0 - 20 20 - 40 40 - 80

使用温度範囲 ℃

-10 - 0 0 - 50 50 - 60

パルス幅 μs

0 - 200 200 - 800 800 - 1,200 1,200 - 2,400

製品重量 g

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この商品の取り扱い会社情報

XQ Instruments

会社概要

XQ Instrumentsは、半自動プロセス向けの革新的で特許取得済みの機器を開発し製造しています。 主にライフサイエンス/化学研究室、食品・飲料、産業、テスト、およびブティック製造アプリケーション向けの粉末ディ...

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  • 本社所在地: シンガポール

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