バイポーラパルスジェネレータ HXBシリーズ-HXB 900

バイポーラパルスジェネレータ HXBシリーズ-XQ Instruments

バイポーラパルスジェネレータ HXBシリーズ-HXB 900

バイポーラパルスジェネレータ HXBシリーズ
XQ Instruments

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この製品について

MF/バイポーラパルスジェネレータHXB900からHXB1400は、一つのキャビネットで、大きな出力、コンパクトデザイン、及び高速アーク制御を実現します。このバイポーラパルスジェネレータは、特にカソード長さ4mまでの、反応性スパッタプロセスの為に設計されております。

本機は、デュアルカソードにおける左右のカソードへ均等にパワーを配分する自動シンメトリック機能と、意図的に10：90％まで配分パワーを調整するパワー比制御機能を備えます。それにより、成膜品質と、ターゲットのライフを最適化します。

このジェネレータは、完全自動ですべての関連プロセスパラメータを認識し、絶えずアーキング検出とアーキング抑制を自動調整致します。生産開始時や、ターゲット交換時においても、一切オペレーターがパラメータ調整をする必要はありません。また、強力な水冷機構は、気温調整されていない環境下においても、高い信頼性を保証します。

■特徴・出力90kWから140kWまで
・水冷
・反応性スパッタ
・長さ4mまでのカソードに対応
・自動シンメトリック調整システム
・10：90までの左右非対称パワー比コントロール
・完全自動アーク制御 (0.3 mJ / kW) 

型番
この商品には4種類の型番があります

シリーズ
バイポーラパルスジェネレータ HXBシリーズ

取扱企業
XQ Instruments

カテゴリ

ジェネレータ・発生器

パルス発生器

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	商品画像	品番	価格 (税抜)	DC-出力 20 kHz + / - 800 V 90 kW 20 kHz + / - 800 V 105 kW 20 kHz + / - 800 V 120 kW 20 kHz + / - 800 V 140 kW
		HXB 900	要見積もり	20 kHz + / - 800 V 90 kW
		HXB 1050	要見積もり	20 kHz + / - 800 V 105 kW
		HXB 1200	要見積もり	20 kHz + / - 800 V 120 kW
		HXB 1400	要見積もり	20 kHz + / - 800 V 140 kW

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使用用途

#DC電源連携 #アーク制御 #スパッタ #ターゲットライフ #タイミング制御 #トリガー信号源 #機器同期 #広帯域スペクトル生成

波形特性

単一パルス型矩形波発生型パルストレイン型ステップ波形型

出力方式

電圧出力型電流出力型光出力型高周波出力型

駆動方式

デジタル制御型結合回路型手動操作型

応答特性

高速応答型高電圧型高電流型

電源電圧 V

-10 - 0 0 - 10 10 - 20 20 - 30

回転トルク mN・m

0 - 20 20 - 40 40 - 80

使用温度範囲 ℃

-10 - 0 0 - 50 50 - 60

パルス幅 μs

0 - 200 200 - 800 800 - 1,200 1,200 - 2,400

製品重量 g

0 - 100 100 - 200 200 - 300

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会社概要

XQ Instrumentsは、半自動プロセス向けの革新的で特許取得済みの機器を開発し製造しています。主にライフサイエンス/化学研究室、食品・飲料、産業、テスト、およびブティック製造アプリケーション向けの粉末ディ...

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