HiPIMS スパッタ電源SPIK3000A-A-05-EF
HiPIMS スパッタ電源SPIK3000A-XQ Instruments

HiPIMS スパッタ電源SPIK3000A
XQ Instruments



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この製品について

SPIK3000A パルスパワーコントローラーは、フローティング出力を備えるあらゆるDC電源と連携可能で、お手持ちのDC電源を、最先端のパルスパワーコントロール電源へアップグレード可能です。 SPIK3000Aは、SPIKシリーズの中で、最先端のモデルで、オン-オフタイム及び極性を選択しながら最大8パターンまでの異なるパルスを生成させるFPPGを備えています。また並列接続で、最大5台のSPIK3000Aを同期させることが可能で、最大5,000Aまで出力可能です。 SPIK3000Aは、最も安定したパルス電圧と電流を提供します。標準ではシリアル通信で制御されますが、オプションとして、様々なインターフェースへのカスタマイズも可能です。アーク制御時間は2us以下である為、基材へのダメージはほぼ発生しません。この非常に早い反応速度は、ユーザーの最終的な問題解決手段として、大きく貢献します。

■特徴

・DC – 25/50kHz パルス周波数レンジ ・高速アーク検出及び2us以下のアーク抑制 ・左右対称な電圧出力 ・FPPG (8種類までのパルスのフリーパルスパターンコントローラ) ・2xトリガー出力/1xトリガーインプット ・水冷 ・19インチx 7U ラック搭載 ・多彩なリモートインターフェース (プロフィバス/RS485)

  • シリーズ

    HiPIMS スパッタ電源SPIK3000A

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HiPIMS スパッタ電源SPIK3000A 品番4件

各品番毎の詳細は品番をクリックしてください

商品画像 品番 価格 (税抜) パルスオンタイム パルスオフタイム 出力モード DC パワー (kW) DC 電圧 (V) DC 電流 (A) パルスピークパワー (kW) 周波数範囲
HiPIMS スパッタ電源SPIK3000A-品番-A-05-EF

A-05-EF

要見積もり 5us-16ms 5us-32ms DC-、ユニポーラ+, ユニポーラ- 及びバイポーラ 5 kW 1,000 V 10 A 500 kW DC – 50kHz
HiPIMS スパッタ電源SPIK3000A-品番-A-10

A-10

要見積もり 5us-16ms 5us-32ms DC-、ユニポーラ+, ユニポーラ- 及びバイポーラ 10 kW 1,000 V 25 A 1,000 kW DC – 25kHz
HiPIMS スパッタ電源SPIK3000A-品番-A-20

A-20

要見積もり 5us-16ms 5us-32ms DC-、ユニポーラ+, ユニポーラ- 及びバイポーラ 20 kW 1,000 V 35 A 1,000 kW DC – 25kHz
HiPIMS スパッタ電源SPIK3000A-品番-A-30

A-30

要見積もり 5us-16ms 5us-32ms DC-、ユニポーラ+, ユニポーラ- 及びバイポーラ 30 kW 1,000 V 50 A 1,000 kW DC – 25kHz

のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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会社概要

XQ Instrumentsは、半自動プロセス向けの革新的で特許取得済みの機器を開発し製造しています。 主にライフサイエンス/化学研究室、食品・飲料、産業、テスト、およびブティック製造アプリケーション向けの粉末ディ...

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