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HiPIMS スパッタ電源SPIK3000A取扱企業
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | パルスオンタイム | パルスオフタイム | 出力モード | DC パワー (kW) | DC 電圧 (V) | DC 電流 (A) | パルスピークパワー (kW) | 周波数範囲 | |
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A-05-EF |
要見積もり | 5us-16ms | 5us-32ms | DC-、ユニポーラ+, ユニポーラ- 及びバイポーラ | 5 kW | 1,000 V | 10 A | 500 kW | DC – 50kHz | ||
A-10 |
要見積もり | 5us-16ms | 5us-32ms | DC-、ユニポーラ+, ユニポーラ- 及びバイポーラ | 10 kW | 1,000 V | 25 A | 1,000 kW | DC – 25kHz | ||
A-20 |
要見積もり | 5us-16ms | 5us-32ms | DC-、ユニポーラ+, ユニポーラ- 及びバイポーラ | 20 kW | 1,000 V | 35 A | 1,000 kW | DC – 25kHz | ||
A-30 |
要見積もり | 5us-16ms | 5us-32ms | DC-、ユニポーラ+, ユニポーラ- 及びバイポーラ | 30 kW | 1,000 V | 50 A | 1,000 kW | DC – 25kHz |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。