HiPIMS スパッタ電源SPIK3000A
XQ Instruments

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この製品について

SPIK3000A パルスパワーコントローラーは、フローティング出力を備えるあらゆるDC電源と連携可能で、お手持ちのDC電源を、最先端のパルスパワーコントロール電源へアップグレード可能です。

SPIK3000Aは、SPIKシリーズの中で、最先端のモデルで、オン-オフタイム及び極性を選択しながら最大8パターンまでの異なるパルスを生成させるFPPGを備えています。また並列接続で、最大5台のSPIK3000Aを同期させることが可能で、最大5,000Aまで出力可能です。

SPIK3000Aは、最も安定したパルス電圧と電流を提供します。標準ではシリアル通信で制御されますが、オプションとして、様々なインターフェースへのカスタマイズも可能です。アーク制御時間は2us以下である為、基材へのダメージはほぼ発生しません。この非常に早い反応速度は、ユーザーの最終的な問題解決手段として、大きく貢献します。

■特徴・DC – 25/50kHz パルス周波数レンジ
・高速アーク検出及び2us以下のアーク抑制
・左右対称な電圧出力
・FPPG (8種類までのパルスのフリーパルスパターンコントローラ) 
・2xトリガー出力/1ｘトリガーインプット
・水冷
・19インチx 7U ラック搭載
・多彩なリモートインターフェース (プロフィバス/RS485) 

型番
この商品には4種類の型番があります

シリーズ
HiPIMS スパッタ電源SPIK3000A

取扱企業
XQ Instruments

カテゴリ

電源

パルス電源

コントローラ・制御装置

パワーコントローラ

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HiPIMS スパッタ電源SPIK3000A 品番4件

フィルター

品番	価格 (税抜)	パルスオンタイム	パルスオフタイム	出力モード	DC パワー (kW) 5 kW 10 kW 20 kW 30 kW	DC 電圧 (V)	DC 電流 (A) 10 A 25 A 35 A 50 A	パルスピークパワー (kW) 500 kW 1,000 kW	周波数範囲 DC – 50kHz DC – 25kHz
A-05-EF	要見積もり	5us-16ms	5us-32ms	DC-、ユニポーラ＋, ユニポーラ- 及びバイポーラ	5 kW	1,000 V	10 A	500 kW	DC – 50kHz
A-10	要見積もり	5us-16ms	5us-32ms	DC-、ユニポーラ＋, ユニポーラ- 及びバイポーラ	10 kW	1,000 V	25 A	1,000 kW	DC – 25kHz
A-20	要見積もり	5us-16ms	5us-32ms	DC-、ユニポーラ＋, ユニポーラ- 及びバイポーラ	20 kW	1,000 V	35 A	1,000 kW	DC – 25kHz
A-30	要見積もり	5us-16ms	5us-32ms	DC-、ユニポーラ＋, ユニポーラ- 及びバイポーラ	30 kW	1,000 V	50 A	1,000 kW	DC – 25kHz