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ガンタイプ イオナイザ クリーンジェットガン MODEL 307R-MODEL 307R
ガンタイプ イオナイザ クリーンジェットガン MODEL 307R-ヒューグルエレクトロニクス株式会社

ガンタイプ イオナイザ クリーンジェットガン MODEL 307R
ヒューグルエレクトロニクス株式会社

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この製品について

本製品は、従来の仕様に安全回路機能を搭載し「MODEL 307R」としてリニューアル致しました。安全回路の搭載により高電圧駆動回路の異常を検知すると、アラームにてお知らせし、高圧出力を自動的に遮断する機能を内蔵しました。 (高安全設計) 除電・除塵エリア (集中的から広範囲まで) を用途に合わせて、ノズル選択できる汎用モデルです。ガラス基板・ディスク・ウェハ・レチクル上に静電気で付着した塵埃を0.01μフィルターで濾過したイオン化エアー (又は、窒素) により素早く・正確に除去します。

■製品概要

・エアー吹き出しノズルはビームノズルとスプレーノズルの2種類を標準装備 ・0.01μフィルター搭載したクリーンエアーによる除電 ・放電針は交換が容易なコネクター方式を採用

  • シリーズ

    ガンタイプ イオナイザ クリーンジェットガン MODEL 307R

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ガンタイプ イオナイザ クリーンジェットガン MODEL 307R 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 放電方式 入力電圧 入力電流 出力電圧 消費電流 使用圧力範囲 使用気体 気体導入口 エアー流量 ガンケーブル長 周囲温湿度 外形寸法 (mm) 重量 (g) 標準放電針 消耗品 オプション 付属品
ガンタイプ イオナイザ クリーンジェットガン MODEL 307R-品番-MODEL 307R

MODEL 307R

要見積もり

ACコロナ放電方式

AC100V~AC110V 50Hz/60Hz
電源コード AC100V用付属

0.23A

5.3kV~

0.23A以下

0.05~0.7MPa

クリーンドライエアーまたは窒素

Ø6ワンタッチ継手

118L/min MAX

2m

動作時：10~40℃ 35~65％RH
保存時：0~40℃ 35~85％RH (氷結、結露なきこと)

ガン：145 (W) ×28 (D) ×145 (H)
コントローラー：153 (W) ×189 (D) ×86 (H)

ガン：520g
コントローラー：2,100g

タングステン針

フィルター：F-307R (10本/式)
タングステン針：W-307R
ポリシリコン針：P-307R

ポリシリコン針P-3080S

ビームノズル
予備ヒューズ (コントローラー内部に付属)
電源コード (AC100V用 3m)

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イオナイザをフィルターから探すことができます

入力電圧 V

0 - 20 20 - 50 50 - 100

イオン発生方式

直流コロナ放電 交流/高周波コロナ放電 パルスDC方式 コロナ放電 SMD方式

オゾン濃度

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1

風量 ㎥/分

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 4

設置距離 mm

0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1000 1000 - 2000

イオンバランス V

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会社概要

ヒューグルエレクトロニクス株式会社は1971年に設立した、半導体関連製品のメーカーです。 容器洗浄装置、非接触に数ミクロンの異物を除去できる超音波ドライクリーナー、非接触で静電気の除電を行えるイオナイザーなどの半導体や...

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