フィルタ (アウトガス対策) アブソリュート・フィルタ・GIGA (ULPA) ミニプリーツ (型式：GA5)
ケンブリッジフィルターコーポレーション株式会社（旧：近藤工業株式会社）
この製品について
■特徴
・0.1-0.2μm粒子に対して99.999% (5N) または99.9999% (6N) の効率を保証するフィルタです。 ・生産装置・システム天井向けのULPAフィルタです。 ・PTFEろ材により、有機物の発生を大幅に削減押さえると共にボロンの発生を無くしています。 ・省スペースを可能にした軽量設計 ・PTFEろ材はグラスファイバーろ材と異なり、ボロンの発生なし (ボロンフリー)-
シリーズ
フィルタ (アウトガス対策) アブソリュート・フィルタ・GIGA (ULPA) ミニプリーツ (型式：GA5)
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フィルタ (アウトガス対策) アブソリュート・フィルタ・GIGA (ULPA) ミニプリーツ (型式：GA5) 品番4件
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| まとめて問合せ・見積 | 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ウェハー吸着有機物量 | スキャンテスト | 材質 ろ材 | 材質 スペーサー | 材質 外枠 | 材質 外枠表面処理 | 材質 密封剤 | 材質 ガスケット | 使用条件 連続使用最高温度 (℃) | 使用条件 瞬間使用最高湿度 (%RH) | 定格流量 (m3/min) | 圧力損失 初期 (Pa) | 外径寸法 高さ (mm) | 外径寸法 幅 (mm) | 外径寸法 奥行 (mm) | 重量 (kg) | 捕集率 (%) | 対象粒径 (μm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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GA5-610610T |
要見積もり | 1/50 | 合格品 (シリカ) | PTFE (PTFE膜+PET不織布) | ホットメルト | アルミニウム | アルマイト+クリア塗装 | ウレタン樹脂 | EPDM | 50 | 100 (結露無きこと) | 7 | ≦140 | 610 | 610 | 25 | 1.6 | ≧99.999 (5N) | 0.1~0.2 | |
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GA5-610610E |
要見積もり | 1/50 | 合格品 (シリカ) | PTFE (PTFE膜+PET不織布) | ホットメルト | アルミニウム | アルマイト+クリア塗装 | ウレタン樹脂 | EPDM | 50 | 100 (結露無きこと) | 7 | ≦90 | 610 | 610 | 35 | 2.1 | ≧99.9999 (6N) | 0.1~0.2 | |
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GA5-610610F |
要見積もり | 1/50 | 合格品 (シリカ) | PTFE (PTFE膜+PET不織布) | ホットメルト | アルミニウム | アルマイト+クリア塗装 | ウレタン樹脂 | EPDM | 50 | 100 (結露無きこと) | 7 | ≦75 | 610 | 610 | 50 | 2.9 | ≧99.9999 (6N) | 0.1~0.2 | |
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GA5-610610G |
要見積もり | 1/50 | 合格品 (シリカ) | PTFE (PTFE膜+PET不織布) | ホットメルト | アルミニウム | アルマイト+クリア塗装 | ウレタン樹脂 | EPDM | 50 | 100 (結露無きこと) | 10 | ≦85 | 610 | 610 | 65 | 3.6 | ≧99.9999 (6N) | 0.1~0.2 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
