検査装置『プローブカードアナライザ』
九州エレクトロン株式会社

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この製品について

『プローブカードアナライザ』は、画像処理と独自の補正方法により、umオーダーの位置決め、測定精度を実現した検査装置です。針個別にコンタクト測定を行うため、基板内で他の針とショートされた針も正しく測定可能。またソフトウェアによる回転・オフセット補正機能により、ワークセット時に基準合わせなどの調整が不要で、取り付け後すぐに検査を開始できます。

■特長・計測チャネル数は最大500
・検査対象エリアは150mm角
・複数DUT大型タイプの基板にも対応
・シンプルで使いやすい操作画面
・検査データ・画像処理手順の作成が容易

■検査・機能・針平坦度 (プラナリ) 
・針先平面座標
・針接触抵抗値
・針間リーク電流
・針押当荷重

応用分野
■寸法測定・基板など平面材の位置決め
・工作機械、組立機械の位置制御
・製品・部品の寸法測定、取付け方向、角度測定