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XYZステージ ナノポジショニング・リニアステージ ピエゾ駆動直進ステージ 9063シリーズ 9063-XYZ-NPN-M-9063-XYZ-NPN-M
XYZステージ ナノポジショニング・リニアステージ ピエゾ駆動直進ステージ 9063シリーズ 9063-XYZ-NPN-M-株式会社日本レーザー

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■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ

・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ・Picomotor：電源オフでもセット位置を保持 ・手動軸、電動軸の混成構成可能 ・30nm未満のナノポジショニング Picomotorまたはピエゾモータ使用のナノメートル分解能高精度ステージを、種々取り揃えています。

  • シリーズ

    XYZステージ ナノポジショニング・リニアステージ ピエゾ駆動直進ステージ 9063シリーズ 9063-XYZ-NPN-M

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XYZステージ ナノポジショニング・リニアステージ ピエゾ駆動直進ステージ 9063シリーズ 9063-XYZ-NPN-M 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) ベアリング モータ 駆動軸 移動量 最小移動量 耐荷重 (水平軸)
XYZステージ ナノポジショニング・リニアステージ ピエゾ駆動直進ステージ 9063シリーズ 9063-XYZ-NPN-M-品番-9063-XYZ-NPN-M

9063-XYZ-NPN-M

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ゴシック
アーク

Picomotor

X, Y, Z,
XY, XZ,
YZ, XYZ

12.7mm
25.4mm

<30nm

173N

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