飛行時間型質量分析計 TOF-MS/RGA
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この製品について

Spacetek Technology社のIonTamer™ は飛行時間型の質量分析計 / 残留ガス分析器 (TOF-RGA) です。ガス組成をリアルタイムで、高分解能、高感度にモニターします。世界最高性能のRGAであるIonTamer™は、これまで実験室用装置でしか得られなかった性能を、コンパクトで扱いやすく、組み込み可能にしました。

半導体製造、OLEDディスプレイ製造、光学部品、ソーラーパネル製造、真空コーティングプロセス (CVD、PVD、ALD) 、真空炉、冶金、超高真空などでの研究、過酷な環境下での用途に対応します。

■質量分析質量分析器は、原子や分子をイオン化して、その質量と数を測定します。これにより、何の物質があるか (同定) や、どれくらいの量があるか (定量) を知ることができます。

■飛行時間型質量分析計イオンは真空に保たれた分析室で質量ごとに分けられます。質量分離の一つの方法として飛行時間型質量分析法 (TOF-MS) があります。飛行時間型質量分析法では、イオンを一定のエネルギーで加速し、真空中を飛行させてその飛行時間を測定します。飛行速度はイオンの質量の平方根の逆数に比例するため、一定の距離を飛行した時間を測定することで、質量を求めることができます。

従来の飛行時間型質量分析計は大型で、性能を犠牲にしなければ小型化できませんでした。そのため、インラインやフィールドでのアプリケーションでは優れた性能を活用できませんでした。Spacetek Technologyの技術は、小型・高性能な飛行時間型質量分析計を初めて製品化しました。

■インライン、オンライン、100%リモート操作IonTamer™ 装置は、ネットワーク経由で完全に制御・操作できます。直感的なソフトウェアにより、測定データの取得が簡素化されます。ソフトウェア開発キットにより、世界中のお客様のプロセス制御アプリケーションに測定データストリームを統合することができます。