飛行時間型質量分析計 TOF-MS/RGA-TOF-MS
飛行時間型質量分析計 TOF-MS/RGA-株式会社日本レーザー

飛行時間型質量分析計 TOF-MS/RGA
株式会社日本レーザー

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この製品について

Spacetek Technology社のIonTamer™ は飛行時間型の質量分析計 / 残留ガス分析器 (TOF-RGA) です。ガス組成をリアルタイムで、高分解能、高感度にモニターします。世界最高性能のRGAであるIonTamer™は、これまで実験室用装置でしか得られなかった性能を、コンパクトで扱いやすく、組み込み可能にしました。 半導体製造、OLEDディスプレイ製造、光学部品、ソーラーパネル製造、真空コーティングプロセス (CVD、PVD、ALD) 、真空炉、冶金、超高真空などでの研究、過酷な環境下での用途に対応します。

■質量分析

質量分析器は、原子や分子をイオン化して、その質量と数を測定します。これにより、何の物質があるか (同定) や、どれくらいの量があるか (定量) を知ることができます。

■飛行時間型質量分析計

イオンは真空に保たれた分析室で質量ごとに分けられます。質量分離の一つの方法として飛行時間型質量分析法 (TOF-MS) があります。飛行時間型質量分析法では、イオンを一定のエネルギーで加速し、真空中を飛行させてその飛行時間を測定します。飛行速度はイオンの質量の平方根の逆数に比例するため、一定の距離を飛行した時間を測定することで、質量を求めることができます。 従来の飛行時間型質量分析計は大型で、性能を犠牲にしなければ小型化できませんでした。そのため、インラインやフィールドでのアプリケーションでは優れた性能を活用できませんでした。Spacetek Technologyの技術は、小型・高性能な飛行時間型質量分析計を初めて製品化しました。

■インライン、オンライン、100%リモート操作

IonTamer™ 装置は、ネットワーク経由で完全に制御・操作できます。直感的なソフトウェアにより、測定データの取得が簡素化されます。ソフトウェア開発キットにより、世界中のお客様のプロセス制御アプリケーションに測定データストリームを統合することができます。

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会社概要

株式会社日本レーザーは、レーザーおよび光関連製品を取り扱う、レーザー専門商社です。
1968年設立、1971年に日本電子株式会社の100%出資子会社となった後、2007年には日本初のMEBOで完全独立いたしました...

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  • 本社所在地: 東京都
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