基板用高速レーザー欠陥スキャナー ATシリーズ
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この製品について

Lumina Instrumentsの基板検査装置「ATシリーズ」は、透明、半透明、不透明な基板の全面欠陥検出、マッピング、および分類・レビューを行う光学検査システムです。同時動作の4つの検出チャネルとLumina社独自の検出技術を利用することにより、半導体基板やハイテク向けガラス基板の歩留まり制御とプロセス管理を強化します。レーザースキャン方式でありながら非常に高速で、様々なサイズ、形状、厚さの基板を搭載することが可能です。

■高速欠陥イメージング装置ATシリーズ特徴・レーザースキャン式 (非回転式) 
・矩形、薄い基板、反り基板、特殊形状の基板を検査可能
・サブナノメートルスケール膜欠陥
・欠陥の検出、クラス分け
・透明および不透明の基板に対応
・最大サンプルサイズ300mm x 300mm

■機能・Defect Map：欠陥種類に応じた色別表示
・Pareto Chart：欠陥種類と合計数
・Defect Summary：欠陥サイズや膜厚に基づく欠陥のビニング、グループ化
・Report：欠陥の種類、場所、長さ、サイズなどをレポート (CSVフォーマット) 
・Zoom：指定した欠陥を画像で表示・レビュー

型番
この商品には2種類の型番があります

シリーズ
基板用高速レーザー欠陥スキャナー ATシリーズ

取扱企業
株式会社日本レーザー

カテゴリ

検査装置

基板検査装置

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基板用高速レーザー欠陥スキャナー ATシリーズ品番2件

フィルター

	商品画像	品番	価格 (税抜)	最大基板サイズ 300x300mm 450x450mm	搭載基板厚さ	スキャン速度 150mm/200mm/300mm 225s/440s/970s 60s/75s/150s	PSLパーティクル感度 100nm (シリコン上) 150nm (ガラス上) 200nm (シリコン上) 300nm (ガラス上)	自動機モデル AT1-AUTO オープンカセット方式 200mmウェハ AT2-EFEM EFEM方式 300mmウェハ
		AT1	要見積もり	300x300mm	0.1-5mm	225s/440s/970s	100nm (シリコン上) 150nm (ガラス上)	AT1-AUTO オープンカセット方式 200mmウェハ
		AT2	要見積もり	450x450mm	0.1-5mm	60s/75s/150s	200nm (シリコン上) 300nm (ガラス上)	AT2-EFEM EFEM方式 300mmウェハ