基板用 高速レーザー欠陥スキャナー ATシリーズ
株式会社日本レーザー
株式会社日本レーザーの対応状況
返答率
100.0%
この製品について
■高速欠陥イメージング装置ATシリーズ特徴
・レーザースキャン式 (非回転式) ・矩形、薄い基板、反り基板、特殊形状の基板を検査可能 ・サブナノメートルスケール膜欠陥 ・欠陥の検出、クラス分け ・透明および不透明の基板に対応 ・最大サンプルサイズ300mm x 300mm■機能
・Defect Map：欠陥種類に応じた色別表示 ・Pareto Chart：欠陥種類と合計数 ・Defect Summary：欠陥サイズや膜厚に基づく欠陥のビニング、グループ化 ・Report：欠陥の種類、場所、長さ、サイズなどをレポート (CSVフォーマット) ・Zoom：指定した欠陥を画像で表示・レビュー-
シリーズ
基板用 高速レーザー欠陥スキャナー ATシリーズ
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取扱企業
株式会社日本レーザー
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カテゴリ
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基板用 高速レーザー欠陥スキャナー ATシリーズ 品番2件
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| まとめて問合せ・見積 | 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 最大基板サイズ | 搭載基板厚さ | スキャン速度 150mm/200mm/300mm | PSLパーティクル感度 | 自動機モデル |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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AT1 |
要見積もり | 300x300mm | 0.1-5mm | 225s/440s/970s |
100nm (シリコン上) 150nm (ガラス上) |
AT1-AUTO オープンカセット方式 200mmウェハ |
|
|
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AT2 |
要見積もり | 450x450mm | 0.1-5mm | 60s/75s/150s |
200nm (シリコン上) 300nm (ガラス上) |
AT2-EFEM EFEM方式 300mmウェハ |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
