静電容量変位センサ真空対応高精度位置センサ
株式会社日本レーザー

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この製品について

高真空・超高真空対応プローブ。低アウトガス・高安定性・非磁性対応可能。

■特徴・位置測定範囲 (リニア) ：10μm～4mm
・ガラスメタルプローブ：低アウトガス、高安定性、真空チャンバーへの導入が容易な小型サイズ
・真空用円筒プローブ：真空対応の材料・接着剤使用で、プローブ由来の熱拡散を実質0に抑制
・非磁性プローブ可能
・チャンバーのフィードスルーは複数のタイプをご用意

高真空・超高真空 (UHV) 中で使用できる高精度な静電容量位置センサです。真空対応のため、アウトガスの少ない材料で構成されています。MicroSense 社は、真空対応センサ製造における豊かな経験をもち、アプリケーションに最適なソリューションを提案できます。

製品はこれまで、FIB (フォーカスイオンビーム) システム、SEM  (走査型電子顕微鏡) システム、リソグラフィ―システム、またさまざまな大型物理学実験プロジェクトで高い実績をあげています。