薄膜と微小領域の熱浸透率の測定に熱物性顕微鏡サーマルマイクロスコープ TM3-TM3

薄膜と微小領域の熱浸透率の測定に熱物性顕微鏡サーマルマイクロスコープ TM3
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この製品について

■特徴・熱物性顕微鏡は熱物性値の一つである熱浸透率を測定する装置です。
・サンプルの熱物性を点、線、面で測定することを可能にした装置です。
・従来の熱物性測定装置では難しいとされていたミクロンオーダーでの熱物性値の分布も測定が可能です。
・非接触かつ高分解能での熱物性の測定を可能にした世界初の装置です。
・検出光スポット径3μmにより高分解能で微小領域の熱物性測定 (点・線・面測定) が可能です。
・深さの範囲を変えての測定が可能ですので薄膜・多層膜からバルク材まで測定出来ます。
・基板上の試料も測定出来ます。
・レーザ光による非接触測定です。
・薄膜下のクラック・ボイド・剥離の検出が可能です。

■熱物性顕微鏡の測定原理 (概要) 試料に金属薄膜を成膜し、加熱用レーザにより周期加熱します。

1、金属の反射率は、表面の温度により変化する性質 (サーモリレクタンス法) がありますので、加熱用レーザと同軸に照射した検出用レーザの反射強度変化を捉えることで表面の相対的温度変化を測定します。

2、熱は金属薄膜から試料に伝播し、表面の温度応答には位相の遅れが生じます。この位相の遅れは、試料の熱的特性により変化します。この加熱光と検出光の位相の遅れを測定して熱浸透率を求めます。

型番
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シリーズ
薄膜と微小領域の熱浸透率の測定に熱物性顕微鏡サーマルマイクロスコープ TM3

取扱企業
株式会社ベテル

カテゴリ

観察機器

マイクロスコープ

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薄膜と微小領域の熱浸透率の測定に熱物性顕微鏡サーマルマイクロスコープ TM3 品番1件

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使用用途: 傷観察

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商品画像	品番	価格 (税抜)	測定モード	測定項目	検出光スポット径	1点測定標準時間	測定対象薄膜	繰り返し精度	試料	使用温度範囲	ステージ移動距離	加熱用レーザ	検出用レーザ	電源	本体外形寸法	電源ボックス外形寸法	本体重量	電源ボックス重量	オプション	標準付属品
	TM3	要見積もり	熱物性分布測定 (1次元・2次元・1点)	熱浸透率、 (熱拡散率) 、 (熱伝導率)	約3μm	10秒	厚さ数百nm~数十μm	パイレックス、シリコンの熱浸透率で±10%未満	1.試料ホルダー30mm×30mm 厚さ5mm 2.板状試料 30mm×30mm以内で厚さ3mm以内・試料表面の鏡面研磨が必要です。・試料表面にMoのスパッタリングが必要です。	24℃±1℃ (装置内蔵温度センサーによる)	・X軸方向 20mm ・Y軸方向 20mm ・Z軸方向 10mm	半導体レーザ波長：808nm	半導体レーザ波長：658nm	AC 100V 1.5kVA	730 (W) ×620 (D) ×560 (H) mm	620 (W) ×480 (D) ×310 (H) mm	80.0kg	26.4kg	光学定盤、空調機、空調用ブース、スパッタ装置	サンプルホルダー、基準試料