インラインイオナイザー拡張ISO Class1,10nm対応インラインN2イオナイザーモデル4214-4214

インラインイオナイザー拡張ISO Class1,10nm対応インラインN2イオナイザーモデル4214
シムコジャパン株式会社

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この製品について

モデル4214イオナイザーは、高純度N2環境下においても"拡張ISO Class1,10nm"の高クリーン度に対応し、かつ優れたイオンバランスを達成します。

■特長・超低パーティクル対応 単結晶シリコン電極を採用。
・パーティクルを外部に放出しない独自のクリーン機構により長期間安定したクリーン度を確保
・調整が一切不要なインテリジェント制御回路採用
・内臓センサーによりイオン発生が常にモニタリングされ、確実な除電を達成
・コントローラ,電源内蔵の一体型コンパクト設計
・低流量時は自動高電圧シャットオフ機能が製品を保護します
・先端半導体製造工程他超低パーティクル用途に最適
・24V DC駆動

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
インラインイオナイザー拡張ISO Class1,10nm対応インラインN2イオナイザーモデル4214

取扱企業
シムコジャパン株式会社

カテゴリ

電磁波対策

イオナイザ

電磁波対策

除電装置

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インラインイオナイザー拡張ISO Class1,10nm対応インラインN2イオナイザーモデル4214 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	入力電圧	イオンバランス	除電時間	イオン発生方式	クリーン度	電極	対応パージガス	流量	最大パージ圧	最大ガス温度	N2パージ接続	イオン化N2接続	使用温度範囲	信号出力	寸法	重量	外装	取り付け方法
	4214	要見積もり	24V DC+/-5% 6W Typ.	<+/-25V 150mm 距離 40LPM 配管接続無し	<10sec 150mm 距離 40LPM 配管接続無し +/-1kv → +/- 100v 帯電プレートモニターによる	コロナ放電式高周波AC方式	ISO Class1,0.1 micron "拡張ISO Class1,10nm"*	単結晶シリコン交換可能	N2 > 99.998%	40LPM (36.5Kpa) ~90LPM (171kpa)	207Kpa (=100LPM流量)	60deg C	Swagelok3/8" OD 配管	1/4NPTメスネジコネクタ或いはオプションジョイント 28-25710-SCにてSwagelok1/2"OD配管接続	15~60deg C	Open/Close接点にてアラーム及び、イオン低下出力	長さ152.4mm x 幅72.4mm x 奥行き32mm 配管部含まず	640g	ステンレススチール	裏面 M5ネジネジ長が10mm未満であること